Gebraucht NIKON i11D #9094100 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9094100
Wafergröße: 5"
Stepper, 5"
Resolution: 0.35 um
N.A.: 0.63
Exposure light source: i-line
Exposure area: 22 x 22 mm to 17.9 x 25.2 mm
Alignment accuracy: 70 mm.
NIKON i11D Wafer Stepper ist eine hochpräzise, hochauflösende Lithographie-Maschine, die den hohen Anforderungen der Halbleiterindustrie gerecht wird. Es wird hauptsächlich zur Herstellung von Halbleiterchips mit extrem kleinen Merkmalen verwendet. NIKON I 11 D Wafer Stepper wird von einer hochmodernen Dual-Achsen Präzisionsstufe angetrieben und ist in der Lage, Funktionen von 6 Mikrometer bis zu mehreren Mikrometer Größe zu produzieren. Die integrierte verzerrungsfreie Optik ermöglicht maximale Bildqualität bei minimalen Aberrationen. Damit können Hersteller hochmoderne Chips mit extrem hoher Auflösung erstellen. Der Wafer-Stepper ist für High-End-Lithographieanwendungen konzipiert, einschließlich der Herstellung anspruchsvoller Halbleiter und MEMS-Bauelemente. Es verfügt über 3 halbautomatische Expositionsfelder, 4 separate Expositionen und 20 Subexpositionen. Dies ermöglicht die Herstellung komplexer Strukturen mit beispielloser Genauigkeit und Flexibilität. I11D Wafer-Stepper ist ebenfalls mit einem hohen Automatisierungsgrad ausgelegt. Ein automatisierter CPU-Controller wird verwendet, um die Ausrichtung des Wafers mit einem Sichtfeld von 8 cm zu erleichtern. Der Stepper ist in der Lage, den Spalt zwischen Spänen nach der Verarbeitung automatisch zu messen. I 11 D verfügt auch über ein ausgeklügeltes Softwarepaket, das die genaue Simulation des Belichtungsprozesses mit hoher Präzision und Kontrolle ermöglicht. Die Software wurde entwickelt, um die Ausrichtungsparameter für jeden Wafer automatisch zu optimieren, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Die Maschine ist auch mit einer Reihe von automatisierten Prozesssteuerungsfunktionen ausgestattet, einschließlich eines automatisierten Dosimetriesystems. Dies hilft sicherzustellen, dass für jeden Chip die richtige Menge an Exposition verwendet wird. NIKON i11D ist einfach zu bedienen und zu warten. Das automatisierte Wartungsprogramm hilft, ein hohes Maß an allgemeine Pflege und Stabilität zu bieten, während die häufigen Upgrades und gründliche Bedienerschulungen gewährleisten, dass die Maschine auf dem neuesten Stand der Technik ist. Das starke technische Support-Team bietet Unterstützung bei der Fehlerbehebung und bei der Verarbeitung von Ratschlägen. Insgesamt ist NIKON I 11 D Wafer Stepper eine ideale Wahl für High-End-Lithographie-Anwendungen. Es ist hochgenau, automatisiert und funktionell verpackt und liefert garantiert hervorragende und zuverlässige Ergebnisse.
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