Gebraucht NIKON i11D #9260431 zu verkaufen

NIKON i11D
Hersteller
NIKON
Modell
i11D
ID: 9260431
Steppers.
NIKON i11D ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der eine schnelle, hochpräzise Wafer-Inspektion und -Verarbeitung ermöglicht. Dieser Stepper ist für Anwendungen in der Halbleiter- und Photomasken-Fertigungsindustrie konzipiert. Es verfügt über hohe Genauigkeit, Auflösung und Wiederholbarkeit. NIKON I 11 D ist in der Lage, Wafer Inspektion und Verarbeitung fortgeschritten. Der Stepper hat eine Feldgröße von 12 Zoll (30,5 cm) Diagonale, so dass der Stepper größere Wafer zu handhaben. Der maximale Wagenhub beträgt 900mm (35,4 "). Es hat eine Mindestschrittweite von 0,15 µm für hohe Genauigkeit, sowie eine hochauflösende Kamera mit 12-Bit-Farbtiefe. Außerdem verfügt die Maschine über einen zuverlässigen Autoloader-Mechanismus zum schnellen Be- und Entladen von Substraten. Die Maschine verwendet einen In-Säulen-Verschluss, um die Linse und das Substrat vor Schmutz zu schützen. Der Verschluss reduziert auch die Fläche des ausgewählten Belichtungsbereichs, was zu schnelleren Schrittverarbeitungsgeschwindigkeiten führt. I11D verfügt über ein innovatives Vollmaskeninspektionssystem, das die Überprüfung mehrerer Muster pro Maske ermöglicht. Dadurch ist es möglich, eine Vielzahl von Mustern in einem einzigen Zyklus genau zu überprüfen. I 11 D hat auch erweiterte Bildgebungs- und Analysefunktionen. Es verfügt über einen PC, der auf Windows basiert, was eine Programmanpassung sowie eine intuitive Bedienung durch den Benutzer ermöglicht. Es gibt auch eine Reihe von Softwareoptionen, wie 3D-und übergeordnete Musteranalyse, Spitzwinkelmaskenerkennung, Fehlererkennung und -auswertung, Mehrfachbelichtung und Bildgebung und Maskendesign-Verifizierung. NIKON i11D ist zudem umweltfreundlich und hocheffizient. Es hat ein geringes Ozonabbaupotential und eine FCKW-freie Konstruktion sowie einen geringen Stromverbrauch. Dies trägt zur Senkung der Betriebskosten bei. Schließlich nutzt NIKON I 11 D auch eine Reihe von Sicherheitsmerkmalen, wie eine eingebaute Sicherheitsverriegelung und ein Not-Aus-System. Insgesamt bietet i11D eine schnelle, hochpräzise Waferinspektion und -verarbeitung. Es bietet erweiterte Bildgebungs- und Analysefunktionen und Umwelteffizienz.
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