Gebraucht NIKON i12 #293603629 zu verkaufen

NIKON i12 ist ein hochgenauer Wafer-Stepper für die Lithographie und Präzisionsmuster in der Halbleiterindustrie. Es ist in der Lage, Submikron-Merkmalsgrößen und flache, fein gemusterte Oberflächen zu produzieren. NIKON I 12 ist sowohl mit weichen als auch mit harten Photomasken kompatibel und eignet sich daher für eine Vielzahl von Anwendungen. I12 verfügt über eine leistungsstarke optische Ausrüstung, mit der ein Muster auf die Werkstückplatte projiziert wird. Dieses System umfasst eine Ausrichteinheit, einen Maskenwechsler, der die ursprüngliche Maske in Position hält, und einen Satz hochauflösender Linsen. Die Linsen sind so konzipiert, dass Licht an der Netzhaut der Maske auf einen feinen Fleck fokussiert wird. Sie bieten auch eine Ausrichtung auf der Achse, so dass der Punkt genau auf das Retikelgitter ausgerichtet ist. I 12 verfügt auch über eine Reihe von Funktionen entwickelt, um seine Genauigkeit und Geschwindigkeit zu maximieren. Die CircleField Correction Machine (CFCS) kompensiert beispielsweise das Taumelspiel in der Drehstufe des Waferstufen. Es gibt auch einen spezialisierten Netzgenerator, MetraGrid genannt, der es Benutzern ermöglicht, Muster mit außergewöhnlicher Genauigkeit zu erzeugen. NIKON i12 enthält auch ein Advanced Machine Control (AMC) -Werkzeug, das eine intuitive, automatisierte Steuerung bietet. Dieses Modell ist in der Lage, maximale Ausrichtungsgenauigkeit sowie eine Reihe von zusätzlichen Funktionen zu erreichen; Sie kann beispielsweise Fehler im Markierungsmuster automatisch erkennen und korrigieren sowie eine optimale Belichtungszeit berechnen. NIKON I 12 bietet zudem eine Genauigkeit der Fotomasken-Ausrichtung von bis zu 0,15 Mikrometern. Dies ermöglicht sehr reproduzierbare Muster und eine hohe Dimensionssteuerung. Darüber hinaus verfügt der Schrittschalter über eine mehrachsige Motorsteuerungsfunktion, die es ihm ermöglicht, den Wafer zu navigieren und eine genaue Ausrichtung und Registrierung zu ermöglichen, wenn mehrere Belichtungsschritte erforderlich sind. Dieses Merkmal macht i12 auch für mehrstufige Belichtung und mehrstufige Lithographie geeignet. Schließlich ist I 12 auf langfristige Zuverlässigkeit ausgelegt und mit einer Reihe von Fehlererkennungs- und vorbeugenden Wartungsfunktionen ausgestattet. Es kommt auch mit NIKON renommierten Online-Support-Services und eine umfassende Suite von Software-Anwendungen.