Gebraucht NIKON i12 #9285477 zu verkaufen

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Hersteller
NIKON
Modell
i12
ID: 9285477
Wafergröße: 8"
Weinlese: 1999
Stepper, 8" UDOF (Spec<0.05 um): 0.4 CD Range (Spec<0.05 um): 0.057 Coma (Spec<5%): 2.85% Main body Control rack Air conditioner Operation control box 1999 vintage.
NIKON i12 ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper für hochmoderne Halbleiter-Photolithographie-Operationen. Es verwendet patentierte kalibrierte Automatisierungskomponenten, um einen hohen Durchsatz bei minimaler Materialverschwendung zu erzielen und gleichzeitig eine äußerst präzise Kontrolle über alle Prozessvariablen einschließlich Position, Belichtungszeit und Fokus zu erhalten. Der Wafer-Stepper kann für eine Vielzahl von Geräteherstellungs- und Prozessanwendungen verwendet werden, die alle schnell und präzise durchgeführt werden. NIKON I 12 verfügt über einen proprietären Basisrahmen, der eine sehr glatte und schwingungsarme Bewegung unterstützt. Die dreiachsige lineare Motorstufe liefert X-, Y- und Z-Bewegungen mit einer Auflösung von 0,01 Mikron und kann unabhängig voneinander mit Nanometergenauigkeit entsprechend den Prozessanforderungen eingestellt werden. Darüber hinaus verfügt der Basisrahmen über eingebettete Vibrationsisolationstechnologie, die eine hohe Genauigkeit während des gesamten Photolithographie-Prozesses gewährleistet. I12 verwendet eine Kombination aus fortschrittlicher Optik und leistungsstarken Lichtquellen, um eine hochauflösende Strukturierung mit hervorragendem Kontrast zu erreichen. Ein einstellbarer Spiegel positioniert das Projektionsfeld über den gesamten Wafer, während eine neuartige Bildfiltereinrichtung die Effekte optischer Verzerrungen minimiert. Der Stepper ist auch mit einer Vielzahl von Geräten ausgestattet, um Mehrfachbelichtungsanforderungen zu kompensieren, einschließlich einer rückseitigen Bildmaske, Defokussteuerung, Fokusverschiebungsausrichtung und reduzierter Rückwandreflektivität. Das exponierte System von I 12 verfügt über mehrere Funktionen, um eine optimale Produktivität zu gewährleisten. Es ist mit einem Waferlader auf Waferebene ausgestattet, der eine schnelle und einfache Beladung von bis zu 8 Wafern gleichzeitig ermöglicht. Das Gerät ist auch mit einer fortschrittlichen computergestützten numerischen Steuerungsmaschine (CNC) mit Bewegungssteuerung ausgestattet, die die Werkzeugleistung sowie Zonen- und Teilzonenanpassungen überwacht, um potenzielle Unvollkommenheiten im Asset automatisch auszugleichen. Darüber hinaus prüft ein hochmodernes Vision-Modell jeden Wafer vor und nach der Strukturierung auf Fehler. Insgesamt ist NIKON i12 ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der Halbleiter-Photolithographie-Operationen mit sehr zuverlässiger Musterleistung zur Verfügung stellt. Die integrierte kalibrierte Automatisierungstechnologie garantiert eine hervorragende Auflösung, Genauigkeit und Kontrolle und die Vielzahl an Funktionen gewährleisten eine automatisierte, schnelle Produktion von Gerätekomponenten.
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