Gebraucht NIKON i12D #293748648 zu verkaufen

NIKON i12D ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper, der in der Halbleiterlithographie eingesetzt wird. Es wurde entwickelt, um die optische Leistung zu optimieren und eine gleichmäßige Neigungstreue während der Lithographie zu gewährleisten. I12D kombiniert eine stationäre und eine motorisierte Stufe zusammen mit einer 12-Wege-Säulenausrichteinrichtung, um die höchste Genauigkeit in der Wafer-Positionierung zu gewährleisten. Ein einzigartiges zweistufiges Korrektursystem kompensiert die geringe räumliche Verschiebung von Laserpositionen, um eine präzise Ausrichtung zu gewährleisten. NIKON i12D verfügt über eine hohe numerische Apertur von 0,93, eine kleine Spiralfokusaberration von weniger als 5 nm und eine Fokustiefe von mehr als 10 μ m. Dies gewährleistet eine hohe Genauigkeit sowohl für gepulste als auch für kontinuierliche Wellenlithographie. I12D ist auch mit einer speziellen Bild- und Fokussiereinheit ausgestattet, in der die Fokuslinse durch einen Neigungsverstellmechanismus gekippt wird, um ein verzogenes Bild zu liefern. Dies ermöglicht eine mikrometerauflösende Abbildung in mehreren Richtungen bei gleichzeitiger Kompensation jeglicher Fokusänderung aufgrund des Winkelversatzes der bestrahlten Bereiche des Wafers. NIKON i12D verfügt zudem über eine kompakte All-in-One-Impulsbestrahlungsmaschine, die eine präzise Steuerung aller Bestrahlungsparameter ermöglicht. Dieses Tool eignet sich sowohl für die Lithographie von Kurzpulsquellen als auch für hochauflösende Lithographie mit niedriger Energiequelle. Der Hauptkörper von i12D ist aus einer leichten, aber robusten ultrahochfesten Aluminiumlegierung für maximale Wärmeableitung und Steifigkeit aufgebaut. Der Körper verfügt außerdem über eine dreistufige Strukturarchitektur, wobei jedes Bauteil während des Betriebs von Vibrationen isoliert ist. Insgesamt ist NIKON i12D ein idealer Wafer-Stepper für Anwendungen wie Halbleiterschaltungsmuster, Stempellithographie, Mustertransfer und andere Prozesse, die eine hochauflösende Bildgebung und Ausrichtungsgenauigkeit erfordern. Diese Anlage bietet hervorragende Leistung mit minimalem Rauschen und Vibrationsniveau und gewährleistet präzise Bildplatzierung und -qualität.