Gebraucht NIKON i12D #293797473 zu verkaufen

NIKON i12D
Hersteller
NIKON
Modell
i12D
ID: 293797473
Stepper.
NIKON i12D ist ein Wafer Stepper der i-line Serie. Es ist eine hochgenaue und präzise bildgebende Ausrüstung, die ideal für die Herstellung von Halbleitern und anderen Produkten ist, die kleine, empfindliche Eigenschaften erfordern. I12D ist eine 4-Achsen-Stufe auf mehreren Ebenen und ein NA 0.33 zur Bildoptimierung. Der Stepper verwendet ein einziges Scan-Array mit hoher Präzision und überlappendem Objektiv, um die Belichtungsfelder für die besten Produktionsbilder zusammenzufassen. Das Objektivarray ist so konzipiert, dass es niedrige Polarisationsfehler aufweist und sich bis auf 0,7 μ m vergrößern kann. Die Waferstufe ist ein Scanner und derzeit bietet NIKON i12D die höchste Vergrößerungsauflösung in der i-line Serie heute. Der Stepper verwendet einen eindeutigen Algorithmus, um die Positionsinformationen an jedem Belichtungsnetzpunkt mit Subpixelgenauigkeit zu messen, wodurch dem Benutzer ein besserer Messwert bereitgestellt wird. Dies ermöglicht eine engere Ausrichtung von Mustern auf Standardmaschen für die automatische Fehleranalyse. Der Stepper verfügt auch über ein schnelles Lade- und Positioniersystem, das Proben bis zu einem 900mm Durchmesser mit einer Bewegungsgenauigkeit von 50 μ m laden kann. Ein weiteres Merkmal von i12D ist seine verbesserte automatische Belichtungseinheit, die Signal-Schuss-Rauschen (SSN) innerhalb von 10 ms integrieren kann. Dies bietet einen stabileren Durchsatz bei hohen Wafergrößen und kann außermittige Belichtungen reduzieren. Diese Funktion ermöglicht zudem eine verbesserte fehlerfreie Bildproduktion auch für anspruchsvollste Schaltungsentwürfe. NIKON i12D kann in einer Reihe von Anwendungen eingesetzt werden, einschließlich Photomasken-Produktion, LSI-Produktion, Flachbildschirm (FPD) Produktion, CMP (chemisch-mechanisches Polieren) Produktion und MEMS-Produktion. Der Wafer-Stepper hat sich auch in Produktionsumgebungen als äußerst zuverlässig und kostengünstig erwiesen. I12D ist eine ausgezeichnete, präzise bildgebende Maschine, die dem Anwender enge Toleranzen, hohe bildgebende Qualität und schnelleren Durchsatz bietet. Es ist eine großartige Option für Anwender, die einen Wafer-Stepper benötigen, der zuverlässig hochwertige Mikroschaltungen und Produkte herstellen kann.
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