Gebraucht NIKON i12D #293823353 zu verkaufen
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NIKON i12D ist ein Wafer-Stepper von NIKON Corp. I12D ist eine High-End-Ausrüstung, die bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen wie integrierten Schaltungen, LCDs und anderen MEMS-Produkten verwendet wird. Es wurde entwickelt, um überlegene Leistung und Präzision zu bieten und gleichzeitig einen zuverlässigen und effizienten Betrieb zu gewährleisten. NIKON i12D ist ein hybrider Schritt- und Wiederholmuster-Stepper, der Muster auf einem einzigen Wafer mit langen Belichtungen nähen kann. Es verfügt über ein fortschrittliches Gerätedesign mit einer Niedertemperatur-Laufplattform und einem kleinen Kontostand, der eine höhere Produktivität bietet. Die Scheibengröße hat einen Durchmesser von 150mm für große Platten und 200 mm für größere Produktion. Angetrieben wird der Stepper von einem Säulenscanner der Marke NIKON mit einer 6fachen Reduktionsvergrößerung. Das System unterstützt sowohl die E-Beam Lithographie als auch die DFE Object Measurement Technologie zur präzisen Strukturierung. Der Wafer-Stepper verfügt über eine integrierte 3-stufige Overlay-Ausrichteinheit, um eine genaue Platzierung des Musters auf dem Wafer zu gewährleisten. Es enthält auch einen Echtzeit-„ Snapshot “, um die Qualität des Wafers zu überprüfen. Die Maschine bietet auch automatische Eckenerkennung, um manuelle Eingriffe während des Schrittes zu entfernen. Der Abtastwinkel kann zwischen 0 °, 90 ° und 180 ° variiert werden, sodass Benutzer das gewünschte Muster erstellen können. I12D ist sehr zuverlässig und hat einen Wirkungsgrad von mehr als 99%. Es bietet einen überlegenen Durchsatz mit einer extrem niedrigen Fehlerrate. Das Tool eignet sich auch für Hochtemperaturprozesse und bietet mit der integrierten Smart QA Software ein flexibles Datenmanagement. Das Asset wird durch Funktionen wie automatische Steuerung der Waferposition, Hochgeschwindigkeitsprüfung und Integration anderer NIKON/Third Party Peripherals weiter verbessert. Insgesamt ist NIKON i12D ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der für die Serienproduktion geeignet ist. Es wurde entwickelt, um auf zuverlässige und effiziente Weise überlegene Leistung und Präzision zu liefern. Es bietet eine Reihe von nützlichen Funktionen und ein sehr zuverlässiges Modell, das es für verschiedene Anwendungen geeignet macht.
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