Gebraucht NIKON i12D #293823356 zu verkaufen

NIKON i12D ist ein Stepper für Lithographie- und Mikrofabrikationsprozesse. Es ist eine optische Lithographie-Maschine, die entweder Standard oder hohe numerische Aperturoptik verwendet. I12D besteht aus mehreren Bauteilen, darunter einer luftgestützten Optikplattform, einer Grob- und Feinbewegungsstufe, einer Retikelausrüstung und Belichtungs-/Prozesssteuerungen. Die Optik-Plattform von NIKON i12D besteht aus einem NIKON Drei-Kamera-Design, das ein zentrales Hauptbelichtungsprisma und zwei seitliche Kameras verwendet, um das gesamte Sichtfeld eines Halbleiterwafers zu erfassen. Dies ermöglicht die exakte Positionierung der Optik für eine optimale Lithographie-Belichtung und wiederholbare Leistung. Die Optikplattform bietet 0,75- und 0.5NA optische Systeme für transparente und reflektierende Masken und eine numerische Apertur von bis zu 0.1NA für Lithographieanwendungen mit hoher Leitfähigkeit. Die Optik hat einen Durchmesser von 6,35 mm, bietet eine ununterbrochene optische Sichtlinie und eignet sich für Fertigungsgrößen bis 200mm ². Die Nanometer-genaue Stufe von i12D ist mit einer hochpräzisen NIP-Fluor-beschichteten Linearführung sowie einem Nanometric Motion Control (NMC) System ausgestattet, das eine automatische Positionierung verwendet, um bis zu + -200 μ m Sprungbewegung zu ermöglichen. Die grobe Bewegungsstufe hat einen maximalen Bewegungsbereich von 50mm, während die feine Bewegungsstufe eine maximale Reichweite von 16mm bietet. Beide Stufen werden über eine Präzisionsführungseinheit gesteuert. Die Retikelmaschine von NIKON i12D verwendet das Reticle Exchange Tool (RES), um Mustermasken aus dem Stapler zu übertragen. Dieses Asset nutzt eine automatisierte Ausrichtung, um die Rüstzeit zu minimieren und die Zykluszeit für die Belichtung zu verkürzen. Schließlich bietet die Belichtungs-/Prozesssteuerung von i12D einstellbare Belichtungsparameter, einschließlich Belichtungszeit und Laserleistungsintensität, sowie Prozesseinstellungen wie Prozesstemperatur, Heiz-/Kühlraten und Prozesszeiten. NIKON i12D kann auch für den One-Touch-Betrieb programmiert werden. Abschließend ist i12D ein fortschrittlicher Stepper, der speziell für Lithographie- und Mikrofabrikationsprozesse entwickelt wurde. Es verfügt über eine Drei-Kamera-Optik-Plattform, eine Nanometer-genaue Bühne, ein Reticle Exchange-Modell und einstellbare Belichtungs- und Prozesseinstellungen. Dieser Wafer-Stepper eignet sich für Halbleiterscheibengrößen bis 200 mm ² und bietet eine optimale Lithographie-Belichtung, effiziente Verarbeitung und Präzisionsführung.