Gebraucht NIKON i12D #9068880 zu verkaufen

NIKON i12D
Hersteller
NIKON
Modell
i12D
ID: 9068880
Wafergröße: 6"
Stepper, 6" Reticle 5".
NIKON i12D ist ein High-End-Wafer-Stepper, der zur präzisen Messung und Abbildung kritischer Bauelementmerkmale auf Substraten wie Halbleiterscheiben entwickelt wurde. I12D verfügt über eine fortschrittliche optische Hybridpistole, die sowohl eine hochauflösende i-line-Projektionslinse als auch eine niederenergetische, kurzwellige Projektionslinse verwendet. Mit diesem Hybrid-Gun-System können NIKON i12D tiefe Sub-Micron-Funktionen auf Wafern präzise und schnell abbilden. I12D verfügt auch über eine hochgenaue, zweistufige Positioniereinheit, die sowohl Luftlager als auch motorisch angetriebene X/Y-Stufen verwendet. Diese Positioniermaschine ist automatisiert und in der Lage, exakt beabstandete Bewegungen mit einer Genauigkeit von 10nm für X/Y und 1 Mikron für Z. NIKON zu erreichen. NIKON i12D verfügt auch über ein leistungsstarkes Beleuchtungswerkzeug, bestehend aus einem LED-Strobe mit Dual-Belichtungen, die fast jede Anwendung aufnehmen können. I12D verfügt über eine breite Palette von Betriebsarten wie Helligkeitsfeldmodus, Dunkelfeldmodus, Sideview-Modus, telezentrischer Modus und ringförmiger Helligkeitsfeldmodus. Die Kombination dieser Modi ermöglicht es, kritische Geräteeigenschaften präzise und schnell abzubilden. NIKON i12D verfügt auch über einen leistungsstarken Datenspeicher namens Digital Imaging Model (DIS) mit einer Festplatte mit großer Kapazität, die bis zu 256 Gigabyte Daten speichern kann. Dadurch können Bilder aus mehreren Belichtungsläufen gespeichert und bequem auf dem großen LCD-Bildschirm angezeigt werden. Neben seinen bildgebenden Funktionen verfügt i12D über viele integrierte Ausrichtungs- und Steuerungssysteme, die eine präzise und genaue Ausrichtung und Bildgebung von Wafern ermöglichen. Zum Beispiel verfügt NIKON i12D über eine umfassende Wafer-Fehlausrichtungs-Ausrüstung (WMD), die sehr genau und zuverlässig ist. I12D ist in der Lage, fast jedes System und Substrat zu handhaben, und wurde entwickelt, um die höchsten Leistungsstandards in der Branche zu erfüllen. Es ist eine ideale Lösung für hochauflösende bildgebende Anforderungen wie die im fortgeschrittenen Halbleiterbauelementherstellungsprozess.
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