Gebraucht NIKON i14 #9036216 zu verkaufen
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NIKON i14 ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper zur Herstellung präzise geformter Teile auf einem Wafer für die Mikrofertigung. Sie setzt auf eine hocheffiziente Chargenherstellung mit hoher Wiederholbarkeit und Gleichmäßigkeit. Es verfügt über die Fähigkeit, große Substrate bis zu 14 Zoll zu handhaben und ermöglicht die Lithographie auf Substraten bis zu 24 Zoll. NIKON I 14 verfügt über eine Multiexpositionsfähigkeit, die es ermöglicht, Teile mit mehreren Präzisionsstufen herzustellen. Es hat die Fähigkeit, die Expositionsdosis auf 0,01 μ m ² mit einer hohen Genauigkeit zu steuern, um nanoskalige Geometrien zu erzeugen. Außerdem weist i14 einen Auto-Reverse-Modus auf, der ausgelöst werden kann, um das Belichtungsfeld während der Lithographie umzukehren. Dies ist ein unschätzbares Merkmal, wenn es um ein komplexes mehrstufiges Lithographiemuster geht. I 14 verfügt über hochauflösende Bildgebungsfunktionen mit einer Integration von Nahfeldoptiken kombiniert mit seiner Spin-Shift-Funktionalität für höhere Auflösung. Es kann eine schnelle gleichzeitige Ausrichtung für die Spin-Shift-Lithographie erzeugen. Darüber hinaus ermöglicht die Spin-Shift-Fähigkeit die Herstellung komplexer Merkmale in optoelektronischen Bauelementen für die optische und LCD-Fertigung. Das Gerät verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-6-Achsen-Roboter, der sich präzise und präzise auf engstem Raum bewegen kann. Sie umfasst eine Hubstufe, die eine sichere und stabile Positionierung des Wafers ermöglicht. Das System kommt auch mit einer Vision-Einheit mit der Fähigkeit, mit einer Genauigkeit von 0,1 μ m auszurichten. Die Maschine ist mit effizienten Luftkühlfunktionen ausgestattet, um einen stabilen Betrieb des Schrittes zu gewährleisten und das Risiko einer Kontamination zu reduzieren. Es verfügt über ein erweitertes Steuerwerkzeug, das die Genauigkeit und Laufzeit des Schrittes steuern kann. Mit solch robusten Eigenschaften ist NIKON i14 eine zuverlässige Bereicherung für verschiedene Fertigungsprozesse.
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