Gebraucht NIKON I6 #9144950 zu verkaufen

NIKON I6 ist ein modernster Wafer-Stepper für Lithographie-Prozesse. Das Gerät verfügt über eine fortschrittliche Ausstattungsarchitektur, hochpräzise Operationen und eine breite Palette von Funktionen, speziell mit seinen optischen Funktionen. I6 hat eine Präzisionsstufe mit einem XY-Hub von 25mm. Dies ermöglicht eine hohe Genauigkeit der Verarbeitung, die für den Erfolg in der Lithographie unerlässlich ist. Darüber hinaus verfügt NIKON I6 über ein hochgenaues geschlossenes System mit Autofokus-Funktion und Kompensationsmechanismus für Höhenunterschiede zwischen verschiedenen Punkten auf dem Wafer. I6 weist außerdem eine dreidimensionale Oberflächenerfassungseinheit auf, die eine präzise Ausrichtung des Substrats auf die Oberfläche des Wafers ermöglicht. Dies trägt dazu bei, die Genauigkeit und Konsistenz des Lithographieprozesses zu gewährleisten. Darüber hinaus ist NIKON I6 mit einer Off-Axis-Projektionsoptik ausgestattet, die eine hochpräzise Bildgebung ermöglicht. Die Maschine enthält auch einen Auto-Artwork-Matching-Mechanismus, der eine genaue Ausrichtung der Kunstwerke auf die Fotomaske ermöglicht. Dies hilft bei der Gewährleistung der Genauigkeit der Exposition. Weiterhin beinhaltet das Werkzeug eine in-situ Autokorrektur der Ausrichtung, um eventuelle Drift während des Belichtungsprozesses zu berücksichtigen. Die Optik von I6 ist so aufgebaut, dass sie eine Vielzahl von Auflösungen unterstützt. Das Gerät kann 30nm Eigenschaften sowie 200-Mikron-Muster mit hoher Genauigkeit und Präzision verarbeiten. Zusätzlich beträgt die Platten-zu-Platten-Wiederholbarkeit von NIKON I6 ± 0,1 nm. Darüber hinaus ist I6 mit einer ganzen Reihe von Sensoren und Reglern für präzise Messung und Steuerung gebaut. Dazu gehört ein messtechnisches Gut, das die Ausrichtgenauigkeit von Maske und Wafer genau messen kann. Das Sensormodell kann auch den überlappten Bereich zwischen benachbarten Mustern messen sowie Muster nach der Belichtung analysieren. NIKON I6 ist ein leistungsstarker und vielseitiger Wafer-Stepper, der präzise und präzise Ergebnisse für Lithographieanwendungen liefert. Mit seiner fortschrittlichen Ausstattungsarchitektur, hochpräzisen Operationen und einem breiten Funktionsumfang ist I6 ein ideales Gerät für den Einsatz in modernen Halbleiterlithographieverfahren.