Gebraucht NIKON i7 #9185650 zu verkaufen

NIKON i7 ist ein hochmoderner optischer Wafer-Stepper. Es ist in der Lage, Lithographie über einen weiten Belichtungsbereich einschließlich Back-End-of-Line (BEOL) Prozessanwendungen. NIKON I 7 ist mit einem neuen NIKON MAPS III (Multi-Projection Alignment Equipment III) Reticle-Aligner ausgestattet, der neben dem NIKON innovativen B-Facility-orientierten, Standard-Output G-MAP binären Datenformat eine hochgenaue Registrierung ermöglicht. I7 verfügt über einen 4-Platten-hochempfindlichen Spaltfeldbildsensor, der eine gleichzeitige 1-Pixel-Ausrichtung ermöglicht. Darüber hinaus verwendet I 7 ein neues Active-AOM (Auxiliary Objective Module) mit einem 4-Elemente-Linsensystem, um Koma-Aberration zu reduzieren. Dieses Modul erhöht die Gleichmäßigkeit und Schärfe des Feldes erheblich. Darüber hinaus verbessert NIKON Hochleistungsstufeneinheit den Maschinendurchsatz durch Verringerung der Stufenbewegungszeit. All dies geschieht ohne sacfrirfig percision. Die fortschrittliche Diamant-Drehmomentstufe von NIKON i7 ist in der Lage, die Positioniergenauigkeit und Beschleunigungen von Sub-Nanometern bis zu 100 μ m/sec2 zu erreichen. Die hochpräzise Stufe ermöglicht eine stabile und konsistente Bildgebungsleistung im gesamten Belichtungsfenster. NIKON I 7 verfügt auch über eine neue hochgenaue Elektronen multiplizieren CCD (EM-CCD) für Sub-Nanometer-Display-Genauigkeit und 1 nm Tonhöhenmustererkennung. Dieses EM-CCD ist sehr zuverlässig für Anwendungen wie Mikro-Durchgangsloch und Durchkontaktierung und kann auch für Anwendungen mit schmalen Mustern eingesetzt werden. Darüber hinaus vergleicht NIKON SPTS (Shutter Process Tool Software), eine intelligente Musteranpassungsfunktion, CAD-Daten exakt mit gemessenen Querschnittsdaten für eine robuste Prozessüberwachung. Dies ermöglicht die volle Kontrolle der Prozessgleichmäßigkeit, Rückverfolgbarkeit und ermöglicht die Prozessoptimierung in Echtzeit. NIKON Designer schenkten der Ergonomie des i7 besondere Aufmerksamkeit. I 7 wurde entworfen, um benutzerfreundlich mit einfacher Bedienung, Werkzeugzugang und Wartung zu sein. Schließlich ist das Werkzeug in einer langlebigen Edelstahlkonstruktion mit einer hochdichten Abschirmung zur Vibrations- und Geräuschdämpfung abgedeckt. NIKON i7 ist ein fortschrittliches, präzises und zuverlässiges Werkzeug für Forschung und Entwicklung sowie für Produktionsprozessanwendungen.