Gebraucht NIKON i8 #293593221 zu verkaufen

NIKON i8
Hersteller
NIKON
Modell
i8
ID: 293593221
Stepper.
NIKON i8 ist ein Lithographie-Wafer-Stepper, der für den Einsatz in Halbleiterherstellungsanlagen entwickelt wurde. Dieses Gerät ist in der Lage, verschiedene Photolithographieoperationen durchzuführen, die von der Wortleitungsmusterung bis zur Doppelmusterung und Stapelung von Schichten reichen. NIKON I 8 ist mit einer Vielzahl von Halbleiterlithographie-Komponenten der neuesten Generation ausgestattet, darunter zwei High-NA-Linsen für extreme Auflösung und Gleichmäßigkeit. Das System verfügt außerdem über eine Vielzahl von Schrittstufen, präzise Positioniermechanismen, Beleuchtungssysteme, messtechnische Instrumente und zelluläre Robotik zur präzisen Ausrichtung und Strukturierung. Mit seinem rotierenden Scanfeld und den erweiterten hochauflösenden Bildgebungsfunktionen kann i8 sowohl großflächige Lithographieprozesse als auch kleine Aufträge verarbeiten. I 8 bietet eine Reihe von Leistungsverbesserungen, einschließlich hochpräziser Ausrichtungs- und Wafer-Scan-Funktionen. Es verfügt über eine hochgenaue Positionierstufe mit Nanometerauflösung und Wiederholbarkeit, die eine präzise Überlagerung und Platzierung von Masken und Schablonen ermöglicht. NIKON i8 verfügt über ein High-NA-Projektionsobjektiv, das die Flexibilität bietet, Merkmale in den Größen 0,1 µm oder mehr präzise zu drucken. Dies ermöglicht es, Muster mit höchster Präzision herzustellen und ultragroße Integrations- (ULSI) Halbleiterbauelemente noch detaillierter zu drucken. Das Projektionsobjektiv ist mit einem programmierbaren einheitlichen Feldbeleuchtungssystem kombiniert, mit dem Benutzer Präzisionsbeleuchtungsparameter nach Bedarf definieren können. Darüber hinaus umfasst NIKON I 8 ein fortschrittliches Metrologiemodul, das die Positioniergenauigkeit und Schichtüberlagerung bewertet. Dies vermittelt dem Benutzer ein Verständnis der Druckgenauigkeit und hilft bei der Musterprüfung und Korrektur. I8 ist auch in der Lage, Stack-Layer-Verarbeitung und Doppelmuster. Mit seiner automatischen Ausrichtungsfunktion und fortschrittlichen Robotik kann das Gerät komplexe Aufträge wie 3D-Gerätestrukturen verarbeiten und auch Teile von Resistmustern ätzen, ohne dass darunter liegende Schichten beeinträchtigt werden. Das Gerät ermöglicht zudem einen hohen Durchsatz und niedrige Fehlerraten, ermöglicht durch seinen automatisierten Roboter-Handling-Prozess und seine schnelle Wafer-Austausch-Geschwindigkeit. Schließlich ist I 8 entworfen, um eine kleine Stellfläche zu haben, so dass es einfach ist, in einer Vielzahl von Einstellungen zu installieren. Seine robuste Konstruktion sorgt auch in anspruchsvollsten Fertigungsumgebungen für Zuverlässigkeit. In Kombination mit seinen fortschrittlichen Eigenschaften ist NIKON i8 damit eine überlegene Lösung für den Bedarf an Halbleiterlithographie.
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