Gebraucht NIKON KDP1640EHE #293668739 zu verkaufen

NIKON KDP1640EHE
Hersteller
NIKON
Modell
KDP1640EHE
ID: 293668739
OPD Panel.
NIKON KDP1640EHE Wafer Stepper ist eine nächste Generation Ausrüstung, die hochauflösende Bildgebung und Lithographie Leistung für fortschrittliche Halbleiterbauelementproduktion zur Verfügung stellen soll. Es wird mit einer NIKON-Feldemissionspistole konfiguriert, Elektronmikroskop (FEG-SEM) und direkte Aussetzungstechnologie scannend, die niedrige Verzerrung, Hochleistungsdigitalbildaufbereitung anbietet. KDP1640EHE hat ein Fünf-Achsen-Brückentypbewegungsstufenisolierungssystem mit einem orthogonalen Hochleistungsscan, der repeatable und stabile Stellengenauigkeit und Schritt und mehrmalige Leistung sichert. Es ist für bis zu vier 6-Zoll-Wafer gleichzeitig ausgelegt und kann bis zu 20 mm dicke Wafer mit einer minimalen Bandbreite von 0,2 μ m handhaben. Dieses Gerät beinhaltet auch eine schnelle Retikelaustauschbarkeit mit einem verzerrungsarmen Retikelkombinierer für verbesserte Registriergenauigkeit und reduzierte Ausrichtzeit. Das Linsensteuerungswerkzeug der Maschine verfügt über eine hochgenaue vierachsige Ausrichtung und eine hochpräzise Schritt- und Wiederholungsfähigkeit, die eine hervorragende Bildverarbeitung und Lithographieleistung bietet. Es verfügt über eine automatisierte Bildzentrierung, die den Wafer automatisch zentriert, um die beste Belichtung zu bieten, und einen leistungsstarken Maskenmustereditor, mit dem Bediener schnell komplizierte Belichtungsmuster erstellen können. Die motorisierte Retikelstufe von NIKON KDP1640EHE bietet bis zu +/-1 μ m Präzisionsschaltungen, um den Durchsatz mit seiner motorisierten Retikellast und Entlastungsfähigkeit zu maximieren. Die automatischen Ausrichtungsfunktionen des Modells gewährleisten eine schaltlose Hochgeschwindigkeits-Scan-Belichtung, sodass sich der Bediener auf andere Aufgaben konzentrieren kann. Darüber hinaus ist es mit einem Fokusmonitor ausgestattet, um den Fokusbereich jedes Schrittschusses zu überwachen. Neben der Genauigkeit und Präzision, die von einem High-End-Wafer Stepper erwartet wird, bietet KDP1640EHE auch eine intuitive grafische Benutzeroberfläche (GUI) und einfach zu bedienende Datensteuerungsfunktionen. Funktionen wie Bildverarbeitungsbedingungen, programmierbare Linsensteuerungseinstellungen und Musterbearbeitungsfunktionen sind über die GUI zugänglich, und die mitgelieferten Selbsttest- und Einrichtungsfunktionen bieten detaillierte Informationen zur Geräteleistung und -funktionen. Die Bedienkonsole ermöglicht auch einen schnellen Startvorgang mit einem 8-Zoll-Touchscreen-Interface und einer großformatigen ergonomischen Tastatur. Insgesamt ist NIKON KDP1640EHE ein äußerst zuverlässiges und benutzerfreundliches System, das dem Bediener die Genauigkeit und Geschwindigkeit bietet, die für eine anspruchsvolle Halbleiterbauelementproduktion erforderlich sind. Seine automatisierte Ausrichtung, umfassende Bildbearbeitung und verbesserte Fokusüberwachung machen es zu einer idealen Einheit für Großgeräteherstellung und Forschungsanwendungen.
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