Gebraucht NIKON NES1 H4 #9239624 zu verkaufen

NIKON NES1 H4 ist ein halbautomatisierter hochpräziser Schrittmacher zur Herstellung von Halbleiterwafersubstraten. Der H4 Wafer Stepper bietet hohe Ausbeute und überlegene Genauigkeit bei 10 μ m und besser. Es ist mit einer Vielzahl von Funktionen ausgestattet und wird seit über 15 Jahren in der Halbleiterindustrie verwendet. NES1 H4 ist ein Einzelfeld-Stepper mit einer Feldgröße von 56,4 x 56,4 mm und einer maximalen Stufengröße von 25,4 x 25,4 mm. Der Stepper ist mit einer Multimuster-Rotationsstufe (MPRS) zur 360-Grad-Präzisionsausrichtung ausgestattet. Der H4 Wafer Stepper hat eine maximale Auflösung von 0,1 μ m über einen 500 mm Bereich. Der Stepper ist mit einer Ausricht-/Belichtungseinrichtung bestehend aus einem Platzierungsmikroskop, Laserverschiebungssensor und Ausrichtungsverbesserungsprozessor ausgestattet. Es verfügt auch über eine hochpräzise Projektorlinse, Abtastausrichtung und Strahlpolarisationssteuerung. NIKON NES1 H4 hat einen Wellenlängenbereich, der sowohl die Verwendung von tiefer ultravioletter (DUV) als auch extremer ultravioletter (EUV) Lithographie unterstützt. Der Stepper ist sowohl mit i-line als auch mit KrF Lasern kompatibel und für die Arbeit mit bis zu vier verschiedenen Laserquellen ausgelegt. Der Stepper ist auch mit Software- und Hardware-Tools ausgestattet, um optische Verzerrungen, Feldgleichmäßigkeit und Druckqualität zu reduzieren. Der Wafer-Stepper ist in der Lage, eine Vielzahl von Wafer-Substraten wie ein- und doppelseitige Photomasken, oberflächenmontierte Geräte und lückenlose Metall-Isolator-Metall (MIM) -Geräte zu handhaben. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Substraten mit hoher Präzision zu strukturieren. Darüber hinaus verfügt NES1 H4 über eine Vielzahl von Funktionsverbesserungsmodi, die es in der Lage machen, starre Submikron-Strukturen mit minimierter Wandwinkelvariation sowie überlegene Überlagerungsgenauigkeit, gleichmäßigen Fokus und höheren Durchsatz zu erzeugen. Im Hinblick auf Sicherheitsmaßnahmen ist NIKON NES1 H4 auf die Einhaltung der Sicherheitsnormen der Internationalen Standardorganisation (ISO) ausgelegt. Das Schrittverriegelungssystem schützt vor ungeplanter Laserbelastung und seine Staubschutzfunktionen reduzieren das Risiko einer Kontamination. Die Schutzschicht auf dem Stepper verhindert Schäden durch ionisierende Strahlung, und das EEPROM des Geräts ist zum Schutz vor elektromagnetischen Störungen ausgelegt. Insgesamt ist NES1 H4 Wafer Stepper eine fortschrittliche Technologie, die überlegene Genauigkeit, hohe Ausbeute und Zuverlässigkeit bietet. Die Maschine ist in der Lage, eine breite Palette von Substraten genau zu strukturieren und ist mit einer Vielzahl von Sicherheitsmerkmalen für sicherere Produktionsabläufe konzipiert.