Gebraucht NIKON NSR 1505 G4C #293607260 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G4C
ID: 293607260
Wafer stepper.
NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper ist eine äußerst präzise und zuverlässige Maschine zur Herstellung von Mikrochips auf verschiedenen Substraten. Die Maschine wurde speziell für die Erstellung von Funktionsgrößen bis zu 0,5 µm in 3D-Strukturen entwickelt und ist in der Lage, einen 200mm-Wafer mit einer maximalen Geschwindigkeit von 1200 Wafern/Stunde bei einer Mindestfunktionsgröße von 0,7 µm zu belichten. Das robuste Design der NIKON NSR 1505 G 4 C Maschine beinhaltet eine Hochgeschwindigkeits-Waferstufe, die große und kleine Wafer im Bereich von 200-450mm unterstützt. Es ist auch mit drei Belichtungskammern und einem Wafer-Handhabungssystem ausgestattet, das eine hohe Präzision und Wiederholbarkeit während des gesamten Belichtungsprozesses gewährleistet. Darüber hinaus basiert das Gerät auf einem zuverlässigen Belichtungsprozess, der einen tiefen ultravioletten (DUV) Laser mit einer Wellenlänge von 308 nm zur Erzeugung von Chips verwendet. Diese Kombination kann für eine Vielzahl von Anwendungen wie photolithographische Belichtung, Druck und Beschichtung, direktes Schreiben, Kontaktbelichtung und Mustertransferprozesse eingesetzt werden. Um eine präzise und genaue Belichtung zu gewährleisten, ist die Maschine mit Funktionen wie hochauflösender automatischer Ausrichtungsoptik, intelligenter Musterausrichtung und digitaler Kantenerkennung ausgestattet. Das Gerät unterstützt auch eine Vielzahl von Bühnenüberlagerungsausrichtungsmethoden, die die beste Übereinstimmung zwischen dem Chipdesign und den Belichtungsmustern gewährleisten. Darüber hinaus ist der Stepper in der Lage, eine ausgezeichnete Wiederholbarkeit und Genauigkeit zu gewährleisten. Das Gerät wurde konsistent für Tausende von Belichtungen entwickelt und seine Ausrichtungsgenauigkeit kann bis zu 4 nm erreichen. Diese Genauigkeit berücksichtigt alle Fehler, die durch thermische Drift, Vibrationen und Luftturbulenzen durch den Belichtungsprozess verursacht werden. Neben dem Wafer Stepper selbst bietet NSR 1505 G4C Wafer Stepper eine komplette Palette an Programmier- und Kalibrierwerkzeugen. Dazu gehört ein von NIKON bereitgestelltes G4C Control Center, das Anwendern hilft, den Belichtungsprozess zu optimieren, Belichtungen zu verwalten und alle Korrekturen vorzunehmen, die für eine qualitativ hochwertige Chipproduktion erforderlich sind. Um den unterschiedlichen Anforderungen des breiten Anwendungsspektrums in der Halbleiterherstellung gerecht zu werden, kann NSR 1505 G 4 C Wafer Stepper mit vielen anderen Mehrwertdiensten und Produkten von NIKON verwendet werden. Dazu gehören Belichtungskammern, Reinigungssysteme und eine Vielzahl von Artikelkörben, die Wafer optimal in den Belichtungsbereich überführen. NIKON NSR 1505 G4C Wafer Stepper ist ein außergewöhnlich präzises und zuverlässiges Werkzeug für die Spanfertigung, das robuste Mechanik und modernes Design kombiniert. Es bietet eine beispiellose Kombination aus Genauigkeit, Geschwindigkeit und Flexibilität und eignet sich für eine Vielzahl von Anwendungen, die für die Halbleiterherstellungsindustrie anwendbar sind.
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