Gebraucht NIKON NSR 1505 G4C #9296337 zu verkaufen
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ID: 9296337
Wafergröße: 6"
Steppers, 6"
Lens: 5x Reduction
Upgraded to NSR 1505 G5.
NIKON NSR 1505 G4C ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der bei der Herstellung von Halbleiter- und anderen Mikrodevices verwendet wird. Das Gerät besteht aus einem Scanner, einer Säule und einem einziehbaren optischen System, das eine hohe Genauigkeit und Geschwindigkeit während des lithografischen Prozesses ermöglicht. Es ist in der Lage, große Sichtfelder zu bewegen, die Substrate mit einem Durchmesser von bis zu 150 mm bei einer maximalen Feldgröße von 330 mm unterstützen. Die G4C Einheit ist mit einer fortschrittlichen unendlichen Maschine entwickelt, so dass die Vergrößerung zwischen 1.5X und 25X sowie eine hohe Geschwindigkeit 525 mm pro Sekunde Scan-Geschwindigkeit eingestellt werden kann. Es ist mit einigen der besten Funktionen ausgestattet, einschließlich eines direkten Ausrichtungswerkzeugs, Stempel-zu-Stempel-Nähten und einer variablen Strahlabtastung, die ultrafeine Auflösungen ermöglicht. NIKON NSR 1505 G 4 C Asset ist in der Lage, mehrere Expositionsanwendungen in einem einzigen Scan zu bearbeiten, was einen höheren Durchsatz und eine höhere Genauigkeit ermöglicht. Dies wird durch das variabel geformte Strahlabtastmodell (VSB) ermöglicht, das eine präzise Steuerung bietet, um Maßspiele auf gedruckten Mustern zu erzielen oder die Rauheit der Linienkante (LER) zu erhöhen. Als eines der schnellsten Systeme auf dem Markt bietet der G4C Stepper eine hohe Auflösung bei 28nm und Linienbreiten bis zu 10nm. Es ist auch mit einem Vollsynchronisationsverschluss (FSS) ausgestattet, der Belichtungszeiten reduziert, Stigmatisierung auf Mikromustern verhindert und eine hochpräzise Overlay-Ausrichtung bietet. Darüber hinaus ist das NSR 1505 G4C System so konzipiert, dass es mit einem ergonomisch freundlichen Bedienfeld einfach zu bedienen ist. Ein integriertes Overlay-Steuergerät ist ebenfalls im Lieferumfang enthalten, mit dem Benutzer Anpassungen und Kalibrierungen problemlos vornehmen können. Visual Tracking Machine (VTS) und verschiedene intelligente Softwarelösungen sind enthalten, um die Produktionskapazität und Sichtbarkeit in der Produktion zu verbessern und eine Echtzeitüberwachung und vorbeugende Wartung zu ermöglichen. Abschließend ist NSR 1505 G 4 C ein vielseitiger und zuverlässiger Wafer-Stepper, der hervorragende Leistung und Ergebnisse bei der Herstellung von Mikrodevices bietet.
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