Gebraucht NIKON NSR 1505 G6 #9236645 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G6
ID: 9236645
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1992
Stepper, 4" 1992 vintage.
NIKON NSR 1505 G6 Wafer Stepper ist ein Gerät, das im photolithographischen Prozess der Halbleiterherstellung verwendet wird. Diese Vorrichtung ermöglicht die optische Musterübertragung auf einen Siliziumwafer, mit dem integrierte Halbleiterschaltungen erzeugt werden. NSR 1505 G6 zeigt mit seinem großen Projektionsobjektiv eine hervorragende Leistung, die den Durchsatz bei seiner 6-Zoll-Wafergröße maximiert. Es ist für Sub-Micron-Anwendungen konzipiert und verfügt über mehrere Funktionen, die die Gerätegenauigkeit und Zuverlässigkeit verbessern. Die optische Ausrüstung von NIKON NSR 1505 G6 verfügt über eine verbesserte Ebenheit der Bildebene der Projektionslinse, eine feinere Ausrichtungsgenauigkeit und eine größere Blende. Dies gewährleistet eine genaue Musterkontinuität und eine verbesserte Registrierstabilität. Das Gerät ist auch in ein Echtzeit-Belichtungssteuerungssystem integriert, das als PALONE-E-Controller bekannt ist und eine überlegene Belichtungsgenauigkeit und verbesserte Schaltleistung bietet. Der Controller ist außerdem mit einer Reihe von Funktionen wie automatischer Belichtungssteuerung, digitaler Bildverschiebung und Autofokus integriert, die eine präzise Belichtung und Ausrichtung ermöglichen. NSR 1505 G6 ist auch mit hochpräzisen XY-Stage-Scanning- und Overlay-Steuerungssystemen ausgestattet. Es ist mit einem vergrößerten Stich-Viewer entworfen, der verbesserte Overlay-Leistung und Wafer-Inspektion bietet. Es hat auch eine verbesserte Hochleistungssubbalkenanordnungsauswahl, die verbesserte Anordnungsgeschwindigkeit ermöglicht. Das Gerät ist für hochpräzise Bildgebung ausgelegt und nutzt 8-Bit-Daten mit einer Auflösung von bis zu 30.000 Pixeln. Das Gerät weist außerdem eine 4-Zoll-Retikel-Ausrichtungsgenauigkeit und eine 5-um-Bildebene Ebenheit auf. NIKON NSR 1505 G6 integriert eine neue fotografische Feuerwehreinheit und eine hocheffiziente optische Filtermaschine. Das Feuerwerkzeug erhöht die Genauigkeit und den Durchsatz, indem es kurze und lange Lichtquellen kombiniert. Die Filteranlage trägt dazu bei, eine optimale ISO-Empfindlichkeit für einheitliche Wafer-Antworten aufrechtzuerhalten. Es ermöglicht auch eine präzise Belichtungssteuerung unter Beibehaltung niedriger Hintergrundwerte. NSR 1505 G6 verfügt zudem über einen automatisierten Feuchte- und Partikelzähler, der die Umweltbedingungen während des lithographischen Prozesses genau überwacht. Es verfügt auch über einen Wartungsmodus für rechtzeitige Kalibrierung und Wartung bei Bedarf. Schließlich ist das Gerät mit einem flexiblen automatisierten Reinigungsmodell integriert, das verschiedene Prozessscheibengrößen und -formationen handhaben kann und den Prozess extrem effizient macht. Insgesamt ist NIKON NSR 1505 G6 Wafer Stepper ein kompliziertes Gerät mit verbesserter Präzision, Genauigkeit und Durchsatz. Es ist für eine breite Palette von Substratgrößen und Anwendungen konzipiert, so dass es eine zuverlässige und effiziente Wahl für Photolithographie-Prozesse.
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