Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #293817955 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G6E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G6E
ID: 293817955
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.54 Resolution: 650 nm DCO: 140 Throughput (WPH): 58.
NIKON NSR 1505 G6E ist ein fortschrittlicher Waferstepper für die Lithographie im Halbleiterherstellungsprozess. Es ist ein Schritt-und-Scan-Projektionsausrichter, der in der Lage ist, eine hochdichte Belichtung von Chipmustern auf Halbleitersubstraten mit großem Durchmesser bereitzustellen. Die Ausrüstung ist entworfen, um Wafer bis zu 200mm Durchmesser genau abzubilden und kann einen dualen Waferprozess aufnehmen, der verwendet wird, um Wafer in zwei gemusterte Wafer aufzuteilen. Das G6E ist ein Multi-Scan-Schritt- und Repeat-System, das in der Lage ist, schnellere Verarbeitungszeit und hohe Geschwindigkeit zu liefern. Das Gerät ist mit einer hochmodernen optischen Maschine mit einer präzisen 0,35-numerischen Blende, einem hochauflösenden Scanner, einem leistungsstarken Bühnenpositionierungswerkzeug und fortschrittlicher Bildkorrekturtechnologie ausgestattet. Diese Kombination von Funktionen ermöglicht eine hervorragende Überlagerung und Platzierungsgenauigkeit von < 1,5 mm Steigungen mit Tiefen von bis zu 10 Mikrometern. Das Modell ist auch mit einem Hochgeschwindigkeits-Servomotor für schnellere Belichtungsimpulsanwendungen und einer robusten Antriebsausrüstung ausgestattet, die ein genaues Wafer-Handling während der Belichtung gewährleistet. Das System umfasst auch einen hocheffizienten Kühlmechanismus und eine fortschrittliche Verschlusseinheit für eine zuverlässige Belichtung. NIKON NSR-1505G6E ist eine robuste Maschine, die für einen zuverlässigen und effizienten Betrieb ausgelegt ist. Das Tool verwendet ein Dual-CPU-Asset, bestehend aus einer Haupt-CPU und einer Waferbearbeitungs-CPU. Für die Steuerung des Modells ist die Haupt-CPU zuständig, während die Wafer-Prozessoren die Belichtungsverarbeitung und das Wafer-Handling übernehmen. Diese Struktur bietet einen hohen Durchsatz und eine höhere Genauigkeit durch eine bessere Kommunikation zwischen den beiden CPUs. NSR 1505 G6E ist auch mit benutzerfreundlicher Software konzipiert und bietet verschiedene Optionen, um verschiedene Verarbeitungsbedingungen zu erfüllen. Es ist mit einer Multibelichtungsfunktion ausgestattet, mit der Benutzer mehrere Belichtungen auf demselben Wafer verarbeiten können. Diese Funktion reduziert die Verarbeitungszeit und verbessert den Gesamtdurchsatz und die Genauigkeit. NSR-1505G6E ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der den Anforderungen der fortschrittlichsten Lithographieverfahren gerecht wird. Das Gerät ist mit einem hochmodernen optischen System, fortschrittlicher Waferbearbeitungstechnologie und benutzerfreundlicher Software ausgestattet. Diese Eigenschaften kombiniert mit seinem robusten Design ermöglichen es dem Gerät, konstant hochwertige Belichtungsergebnisse zu liefern.
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