Gebraucht NIKON NSR 1505 G6E #9209620 zu verkaufen
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Verkauft
ID: 9209620
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1988
Stepper, 4"
Main computer:
System: PDP
Hard disk
Disk drive: Floppy
Illumination type:
Shrinc type: Conversion
Revolver type: Conversion
Wafer stage:
Chuck type: 4" Pin
Screw type: Ball
Reticle alignment: ISS
Reticle microscope: 15 mm
Wafer alignment: WGA, LSA
Auto focus: Single
Wafer loader:
Wafer size: 4"
Loader type: Type1
OF Type: Flat
Flat zone: 6C
In-line: No
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
PPD1: No
Barcode system: No
Chamber type: ASAHI S71
1988 vintage.
NIKON NSR 1505 G6E ist ein hochentwickelter Waferstepper des japanischen Herstellers NIKON. Der Stepper ist für die genaue Verarbeitung von Wafern für die Massenproduktion verschiedener Halbleiterbauelemente und anderer Bauelemente ausgelegt. NIKON NSR-1505G6E nutzt die NIKON Sub-Half Micron Resolution Technology (SHMR). Diese Technologie ermöglicht die Verarbeitung von Merkmalen bis zu 0,3 µm in kritischen Dimensionen. NSR 1505 G6E erreicht eine sehr genaue Overlay- und Rundungswiederholbarkeit und verfügt über eine Autofokus-Ausrüstung und ein 2-stufiges Laserbelichtungssystem, das Überlagerungsfehlstellungen in verschiedenen Schritten minimiert. Dadurch wird sichergestellt, dass auch die kleinsten, empfindlichsten Merkmale präzise gedruckt und ausgerichtet werden. Der Wafer-Stepper enthält auch eine Bildkorrektureinheit, die sich aufgrund von Umweltfaktoren automatisch an beliebige Verschiebungen des Bildes anpasst. NSR-1505G6E ist in der Lage, über 100 Einheiten pro Stunde zu verarbeiten und kann bis zu einem 6-Zoll-Wafer verarbeiten. Darüber hinaus ist der Schrittschalter mit einer hochpräzisen Stufe, einem 4-Achsen-Hochpräzisionsmotor und einer internen SPS-Maschine ausgestattet, die einen zuverlässigen und präzisen Betrieb in verschiedenen Produktionsumgebungen ermöglicht. NIKON NSR 1505 G6E ist in der Lage, eine Vielzahl von Mustern, einschließlich Linie, Diagonalen und die Markierungen zu verarbeiten. Es kann auch komplexe optische Eigenschaften wie transparente dielektrische Folie, Nanobilder und Luftlochgrabenmuster behandeln. Der Stepper verfügt über zahlreiche Sicherheitsfunktionen, darunter ein Wiederherstellungswerkzeug, das eine automatische Wiederherstellung aus jeder anormalen Situation ermöglicht, und eine Staubsammelanlage, um einen sauberen und sicheren Produktionsprozess zu gewährleisten. NIKON NSR-1505G6E ist ein robuster und zuverlässiger Stepper, der präzise und präzise Arbeiten bei der Bearbeitung von Wafern ermöglicht. Seine SHMR-Technologie bietet hohe Genauigkeit und Flexibilität für die hochmoderne Halbleiterproduktion und sorgt für einen zuverlässigen und effizienten Produktionsprozess.
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