Gebraucht NIKON NSR 1505 G7A #9160455 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G7A Wafer Stepper ist ein fortschrittliches bildgebendes Werkzeug zur Herstellung von Photomasken-Substraten für Halbleiter- und andere elektronische Bauelemente. Dieses Tool bietet eine hochpräzise optische bildgebende Ausrüstung mit Deep Ultraviolet (DUV) Wellenlängenlicht, um Muster für die Beschriftung auf einem Substrat genau und konsistent zu definieren. NSR 1505 G7A hat ein maximales Bildfeld von 150mm x 150mm und verfügt über ein Vycor-erweitertes optisches System, das eine axial symmetrische numerische Apertur (NA) von 0,68 verwendet. Diese Hochleistungseinheit ermöglicht eine präzise Ausrichtung von bis zu sechs Projektionsobjektiven für ein maximiertes Sichtfeld. Darüber hinaus kann NIKON NSR 1505 G7A eine maximale Auflösung von bis zu 2,4 μ m (0,096 mils) bei tiefen ultravioletten Wellenlängen von 248nm erzeugen. Die Hauptmerkmale von NSR 1505 G7A sind seine DoF-Technik, Stufenglas-Zoomobjektive und QV-Halbleitermaterialien. Das DoF-Engineering bietet homogene Tiefenschärfe mit gaußscher Intensitätsverteilung von 0,2 um bis 40 um, während Stufenglas-Zoomobjektive eine reduzierte Verzerrung und genaue Betrachtung von Merkmalen bei mehreren Vergrößerungen ermöglichen. Die QV-Halbleitermaterialien haben zuverlässige Ätz- und Abscheidungsleistung bei guter Haftung und Langzeitstabilität. Das Tool verfügt über eine Three Plate Image Field Stabilization (TP-IFS) Plattform, die eine minimale Drift des Bildfeldes während der Belichtung gewährleistet. Dies trägt dazu bei, dass die erzeugten Muster mit jeder Belichtung identisch sind. NIKON NSR 1505 G7A verfügt darüber hinaus über eine integrierte Ausrichtmaschine auf Waferebene, die eine präzise Ausrichtung vorverarbeiteter Substrate ermöglicht, und eine Vakuum-Folienstufe, die eine wiederholbare Waferzentrierung und eine verbesserte Produktivität ermöglicht. Das Werkzeug enthält einen automatischen Laser-Marker, um eine genaue Registrierung der Masken auf dem belichteten Wafer zu gewährleisten. Darüber hinaus verfügt das Tool über eine leistungsstarke Belichtungssteuerung, die bis zu acht Auftragseinstellungen ausführen und mehrere Chips in einem Schuss freilegen kann. Schließlich ist NSR 1505 G7A Wafer Stepper mit einem intelligenten Flex-Disk-Handler integriert, der bis zu 50 Festplatten erfasst und Inspektionen autonom durchführt. Dies gewährleistet optimale Qualität und Leistung für die Massenproduktion.