Gebraucht NIKON NSR 1505 G7D #9045469 zu verkaufen
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ID: 9045469
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Stepper, 6", parts machine
Nikon NSR control rack
Stored in cleanroom
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper ist eine Präzisions-Lithographie-Ausrüstung für eine Vielzahl von Anwendungsbedürfnissen. Es ist in der Lage, Massenproduktions-Lithographieverfahren durchzuführen, die hohen Ausbeute Anforderungen in fortschrittlichen Halbleiterverpackungen und Herstellung erfüllen können. NSR 1505 G7D ist ein hochgenaues und durchsatzstarkes Lithographiesystem, das überlegenen Durchsatz, Durchsatzstabilität und höchste Auflösung in seiner Klasse bietet. Es wurde auch entwickelt, um einheitliche und stabile Expositionsdosen zu gewährleisten, sodass Kunden die hochwertigsten Halbleiterbauelemente herstellen können. Das Gerät verfügt auch über eine Reihe von erweiterten Funktionen, wie automatische Substratausrichtung in drei Dimensionen, ungleiche Belichtungssteuerung für horizontale und vertikale Belichtung Betrieb, automatische Substrateindrückung und Staubprüfung, und eine Vielzahl von Substrat-Handling-Optionen. NIKON NSR 1505 G7D verwendet einen 5-Mikron-Schlitz mit einer Laserdiode, die Strahlung über eine maximale Leistung von 200 mW/cm2 erzeugt. Es bietet einen breiten Wellenlängenbereich von 365 bis 445nm und hat eine maximale Belichtungszeit von 5 μ ms. Es kann einen minimalen Fokus von 18 μ m sowie Submikronfokus über einen weiten Temperaturbereich erreichen. NSR 1505 G7D verwendet eine direkte Projektionsstufe, die Wafer mit bis zu 200 mm Durchmesser unterstützt. Es ist auch in der Lage, eine Vielzahl von Substraten zu handhaben, einschließlich Silizium-auf-Isolator und Dünnschichtfolien. Darüber hinaus kann es mit Photolack und anderen Materialien verwendet werden, so dass es eine ideale Wahl für fortgeschrittene Art von Halbleiterlithographie. Bei Verwendung von NIKON NSR 1505 G7D Wafer Stepper ist es möglich Scan- und Fokusparameter zu programmieren, um eine große Anzahl von Substraten mit hoher Gleichmäßigkeit und Ausbeute zu verarbeiten. Darüber hinaus ermöglicht es dank der eingebauten Mustererkennungsmaschine und der Autofokusfunktion eine einfache Ausrichtung und Substratzentrierung. Schließlich ist NSR 1505 G7D sehr kompatibel mit Masken, Platten und anderen Zubehörteilen. Dies gewährleistet eine einfache Integration in bestehende Lithographieanlagen und ermöglicht den schnellen Technologietransfer zwischen verschiedenen Anwendungen.
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