Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #293589147 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G7E ist ein Wafer-Stepper für die Lithographie mit hohem Durchsatz und hoher Treue. Es ist für die Herstellung sowohl mikrogroßer als auch nanogroßer Mikrochips konzipiert. Die Lichtquelle der Maschine ist ein Laserdioden-Array, das eine hohe Belichtungsintensität bietet. Die Belichtungsfläche beträgt 121mm x 121mm, mit einer Fokustiefe von 0,75 μ m. Der Motor der Maschine ist von einer einzigartigen servogesteuerten Bewegungsausrüstung, die eine reibungslose und präzise Bewegung bietet. Die Optik wird ebenfalls von dieser servogesteuerten Bewegungseinheit angetrieben und besteht aus einer Zweilinsenmaschine mit einer numerischen Apertur (NA) von 0,6 und einem Arbeitsabstand von 3,6 mm. Dieses Tool ist in der Lage, seine Leistung kontinuierlich zu überwachen und zu optimieren, so dass die höchste Genauigkeit. NIKON NSR-1505G7E verfügt zudem über eine Bühnenanlage mit einem großen Fahrbereich von 120 mm in X- und Y-Achse und einer maximalen Fahrgeschwindigkeit von 200 mm/sec. Dieses Stufenmodell ist für thermomechanische Stabilität und zur Begrenzung von Luftturbulenzen ausgelegt. Die Maschine bietet eine manuelle Auto Focus (MAF) Ausrüstung für schnelle und genaue Fokussierung. Dieses System verfügt über eine lange Lebensdauer und ist in der Lage, die Ebenheit der Oberfläche zu erkennen, so dass eine glattere Bewegung über den Wafer. Die Maschine enthält auch eine Lade-/Entladeeinheit mit großer Kapazität, die es einem Benutzer ermöglicht, den Wafer in einem einzigen Arbeitsgang zu laden und zu entladen, was zu einem schnelleren Durchsatz führt. NSR-1505 G7E umfasst auch eine Waferkassette mit großer Kapazität. Dies ist mit einem Wafer-ID-Management-Computer verbunden, um das Laden von Wafer-Key-In und schnelle Wafer-Slots zu ermöglichen. Insgesamt ist NSR 1505 G7E eine ideale Maschine für Hochdurchsatz- und High-Fidelity-Lithographie, die einen schnellen Be-/Entladevorgang, High-End-Optik und Bewegungssysteme und eine lange Lebensdauer bietet. Es ist die perfekte Wahl für die Serienproduktion von Nano- und Mikrochips.