Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #293637485 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G7E
ID: 293637485
Weinlese: 1989
Stepper 1989 vintage.
NIKON NSR 1505 G7E ist ein professioneller Wafer-Stepper zur Herstellung von Präzisions-Halbleiterbauelementen. Dieser Stepper ist in der Lage, kleinstmögliche Strukturen aus beliebigem Material zu strukturieren, ohne die Schaltungskomponenten zu beschädigen. Es ist in der Lage, extrem genaue Muster auf Wafern bis 150 mm Durchmesser mit einer ursprünglichen Stufenauflösung von ± (5 µm) und einer Überlagerungsgenauigkeit von ± (2,5 µm) zu produzieren. NIKON NSR-1505G7E nutzt ein einzigartiges Doppelsäulendesign, das zwei 86mm Säulen zu einer größeren, robusteren Struktur vereint. Diese Säulenanordnung stellt sicher, dass jeder Schritt des Musterprozesses stabiler, genauer und verformungsfrei ist. Der Stepper verfügt auch über eine verbesserte Laserpulskorrektur-Ausrüstung, die hilft, genaue Muster auf Substraten unterschiedlicher Dicke bereitzustellen. NSR-1505 G7E verfügt über ein hochauflösendes Scansystem, das bis zu 8 Megapixel Bildgebung unterstützt. Diese Einheit bietet sehr hohe Pixelauflösungen, bis zu 120.000 Muster/mm (quadratische Tonhöhe) auf jedem Wafer. Diese Abtastmaschine ist mit einem verbesserten zweidimensionalen Stufenscanner gekoppelt, der eine überlegene Bewegungsleistung bietet und Pulsationsunregelmäßigkeiten reduziert. Der Reticle-Scanner von NIKON NSR-1505 G7E verwendet eine automatische Positionserkennung und ein verbessertes Auto-Tracking-Tool für geteilte Spiegel. Die Kombination dieser beiden Merkmale ermöglicht schnelle und genaue Ausrichtungsmessungen über die Waferoberfläche. Ein fortschrittliches Wafer Loader-Asset hilft dabei, häufige Wafer-Änderungen problemlos zu erfassen und zu verwalten. NSR 1505 G7E bietet auch eine Reihe von erweiterten Prozesssteuerungen. Es hat die Fähigkeit, Belichtungsdosen, Waferstufentemperatur und Feuchtigkeit sowie Betriebstemperatur genau zu steuern. Zusätzlich kann der Stepper den Fokus und die Strahlneigung steuern, wodurch der Musterprozess noch präziser und zuverlässiger wird. NSR-1505G7E ist eine ideale Wahl für anspruchsvolle Halbleiterherstellungsumgebungen mit hohem Durchsatz. Seine Fähigkeit, fortschrittliche Prozesse zuverlässig und präzise zu bewältigen, macht es zu einer wertvollen Ergänzung für alle Operationen, die Spitzenleistung erfordern.
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