Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #293665026 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G7E Wafer Stepper ist ein fortschrittliches Lithographie-Tool, das entwickelt wurde, um Kosten zu senken und den Durchsatz in der Halbleiterherstellung zu verbessern. Es ist eine optische bildgebende Ausrüstung, die für Ausrichtungs-, Photolithographie- und Prozessmesstechnik-Anwendungen entwickelt wurde. Das Tool verfügt über eine renommierte, leistungsstarke numerische Apertur (NA) von 0,75 - die höchste in der Branche für Auflösung bis zu 90nm. Das System wurde entwickelt, um anspruchsvolle Anforderungen an die Genauigkeit von Reticle-Alignment und Overlay in registrierungskritischen Anwendungen zu erfüllen. Das fortschrittliche Design von NIKON NSR-1505G7E Wafer Stepper ist in der Lage, konsistente optische Bildgebungsleistung und überlegene Gesamtgenauigkeit zu bieten. Das Gerät verwendet einen direkt angetriebenen, trägheitsarmen Scanner mit Hochgeschwindigkeitsschritt- und Zentrierfunktionen und eine optische Maschine, die aus drehbaren Rahmenspiegeln, katadioptrischen Linsen und hocheffizientem Excimerlaser besteht und eine lange Sortierleistung, höhere Gleichmäßigkeit und niedrigere Ausrichtungsfehler bietet. NIKON 1505 G7E Wafer Stepper verfügt über einen vollautomatischen Freiheitsgrad und ein hochgenaues Registrierungstool, um minimale Spanhöhenvarianten zu gewährleisten. Ebenfalls enthalten ist eine SEMI-standardisierte Lens Coating Asset, um Musterschwund Probleme zu beheben. Das Modell enthält einen eingebauten Gerätetestmodus, um potenzielle Ungleichförmigkeiten bei der Bestrahlung zu erkennen und zu korrigieren. Es zeigt auch ein innovatives Hochleistungsspiegellaufwerksystem für die Höchstgenauigkeitsanordnung und Bildaufbereitung. NSR-1505 G7E Wafer Stepper ist kompatibel mit mehreren Bildformaten wie 45 Grad, 90 Grad, 180 Grad, Tip/Tilt-or-Tilt/Rotat-Symmetrie und Hexagonal/Square Reverse. Es verfügt auch über einen integrierten Mustereditor, mit dem Benutzer benutzerdefinierte Designs für Präzisionsmuster und Bildgebung erstellen können. Das Gerät verfügt zudem über einen effizienten Focus-Check Prozessor, der Fokusempfindlichkeit an benutzerdefinierten Standorten misst. Zusätzlich ist das Werkzeug mit einer innovativen Wärmemanagementmaschine zur Steuerung von Feldverzerrungen und/oder Ungleichmäßigkeiten ausgestattet. NSR-1505G7E Wafer Stepper ist ein einfach zu bedienendes, leistungsstarkes Bildgebungswerkzeug, das Lithographieprozesse vereinfacht und die Genauigkeit verbessert. Die Anlage wurde entwickelt, um mit einer breiten Palette von Substraten zu arbeiten, einschließlich Quarz, Silizium, Siliziumdioxid, Galliumarsenid und vieles mehr. Darüber hinaus ist das Modell mit nahezu jedem Prozesslinienkonzept vollständig kompatibel und vollständig an die spezifischen Bedürfnisse der Prozess- und Prozessmodule anpassbar.