Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #293717121 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G7E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G7E
ID: 293717121
Stepper.
NIKON NSR 1505 G7E ist ein 5-Achsen-Wafer-Stepper für hochvolumige Waferbearbeitungsanlagen. NIKON NSR-1505G7E ist für eine robuste und hochpräzise Lithographie konzipiert, die auch in anspruchsvollsten Produktionsumgebungen zuverlässige Ergebnisse liefert. Das Produkt ist mit einer 150mm × 150mm Rahmengröße und 40mm Weg in XYZ und 5-Achsen-Bewegung entworfen. Der Stepper ist mit NIKON original 5-Achsen-Technologie ausgestattet, die eine 3D-Bildgebung mit verbesserter Genauigkeit und Durchsatz ermöglicht. NSR-1505 G7E verfügt zudem über einen Schnellbelichtungslaser, der einen erweiterten Betriebstemperaturbereich von - 25˚C bis +50˚C bietet. Der Stepper verfügt über eine hochfrequente Beleuchtungseinrichtung, die mit hochpräzisen Komponenten zur Erzeugung einer gleichmäßigen Beleuchtung über die gesamte Waferoberfläche ausgelegt ist. Dieses System sorgt für eine einstellbare Energieverteilung zwischen den fünf Achsen. NIKON NSR-1505 G7E verfügt zudem über eine automatische Wafer-Positionssteuerung, um eine konsistente und wiederholbare Substratausrichtung zu gewährleisten. Der Stepper ist mit einem 8-Zoll-Kontaktbildsensor (CIS) ausgestattet, der die Höhenabweichung einzelner Bilder auf dem Wafer erfassen und messen kann. Dies gewährleistet höchste Genauigkeit, um die Anforderungen von 0,2 Mikron Linienbreiten und Kontaktmustern zu erfüllen. Eine optionale hochpräzise Vergrößerungsschulungsmaschine ist verfügbar, um die Genauigkeit weiter zu verbessern und Linienbreitenvariationen zu reduzieren. NSR 1505 G7E bietet einen leisen Betrieb, ein vibrationsfreies Bewegungswerkzeug, eine automatische Ausrichtung auf die Waferkante und eine ausgezeichnete Dosissteuerung. Der Stepper wurde entwickelt, um eine breite Palette von Wafergrößen und -typen sowie eine Vielzahl von Strahlungsquellen zu unterstützen, darunter ArF-Laserlicht, UV-LEDs und UV-Laser. Darüber hinaus verfügt der Stepper über eine benutzerfreundliche und fortschrittliche Steuerungssoftware, die Stabilität und Genauigkeit für höhere Produktivität und verbesserte Wirtschaftlichkeit bietet. Die Operationsdaten sind leicht zugänglich und der automatische Betrieb kann mit den gleichen Ergebnissen von Run to Run wiedergegeben werden. Insgesamt ist NSR-1505G7E eine perfekte Lithographielösung für hochvolumige Halbleiterfabriken. Die fortschrittlichen Funktionen machen ihn zu einem der zuverlässigsten und produktivsten Waferstepper der Branche.
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