Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #9195757 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G7E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G7E
ID: 9195757
Stepper.
NIKON NSR 1505 G7E Wafer Stepper ist eine High-End, Präzisionsbelichtung Ausrüstung für die Verarbeitung von Halbleiter integrierte Schaltungen. Es ist speziell für die Massenproduktion konzipiert und ist in der Lage, eine schnelle und genaue Waferbelichtung mit einem hochzuverlässigen Dual-Beam-System durchzuführen. Die G7E hat eine Auflösung von 0,5 µm und bietet 13x Reduktion bei Verwendung zusammen mit einer Vergrößerung von mehr als 180mm. Dies macht es ideal für feine Musterung auf modernen Produktionsknoten. Es wird mit einem Die-to-Die-Auflösung-Profilmonitor geliefert, der die Expositionsdosis vor und nach jedem Schuss genau misst, um eine korrekte Exposition zu gewährleisten. Das G7E verfügt zudem über einen Hochgeschwindigkeitsschichtmodus, der eine schnelle Waferbearbeitung ermöglicht. Das Gerät kommt mit einer Vielzahl von Objektiv-Offsets und Feld mags. Dadurch wird eine hochgenaue Belichtung für niedrige bis mittlere Muster auch über den gesamten Waferbereich gewährleistet. Das G7E bietet einen Fernbelichtungsmodus, der eine Fernbelichtung ermöglicht und eine optische Aberrationskorrekturmaschine (OACS) für höchste Präzision sorgt. Darüber hinaus ist die Optik des Werkzeugs mit einem integrierten Kalibriermechanismus ausgelegt, mit dem Wartungspersonal schnell Kalibrierungsprüfungen und -einstellungen durchführen kann. Das G7E beinhaltet eine vollautomatische Vision, die umfassende Wafer-Inspektionen und Fehlererkennung ermöglicht. Darüber hinaus verfügt das Modell über eine Zykluszeitoptimierungsausrüstung, die Ausfallzeiten während des Betriebs reduziert, sowie ein Inline-Wafer-Messsystem zur Überwachung der Waferdicke und -größe. Das G7E verfügt über eine benutzerfreundliche Benutzeroberfläche und bietet zur Beschleunigung von Hochlaufzyklen eine integrierte Sequenzübersetzungseinheit, die die Designdaten automatisch in ein produktionsfreundliches Format übersetzt. Darüber hinaus ist es mit einer Sofortrückkopplungsmaschine ausgestattet, die Echtzeitinformationen über den Fortschritt des Belichtungsfensters bietet. NIKON NSR-1505G7E Wafer Stepper ist eines der fortschrittlichsten und präzisesten Belichtungssysteme, die heute auf dem Markt erhältlich sind. Mit seiner hochpräzisen Optik, dem integrierten Kalibriermechanismus und der intuitiven Benutzeroberfläche bietet dieses Tool eine hervorragende Lösung für Waferbearbeitungsanforderungen.
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