Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #9261836 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 G7E
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1505 G7E
ID: 9261836
Wafergröße: 4"
Stepper, 4".
NIKON NSR 1505 G7E ist ein High-End-Wafer-Stepper, der für eine Vielzahl von lithographischen Anwendungen verwendet wird, einschließlich der Herstellung von Halbleiterbauelementen, der Herstellung von OLED-Bauelementen und der Impressumlithographie. Dieser Wafer-Stepper wurde entwickelt, um eine ausgezeichnete Ausrichtungsgenauigkeit und Wiederholbarkeit bereitzustellen, die eine präzise Wafer-Positionierung und präzise Musterfähigkeit ermöglicht. NIKON NSR-1505G7E verfügt über eine Vollfelddioden-Laserausrichteinrichtung für eine höhere Genauigkeit bei der Ausrichtung des belichteten Films. Die kompakte Bauweise dieses Wafer-Steppers bietet eine kompakte und effiziente Plattform für die Lithographie-Produktion und seine Kapazität von bis zu 150 verarbeiteten Wafern pro Stunde sorgt für hohen Durchsatz und schnelle Produktionszeiten. NSR-1505 G7E verfügt über eine 5-Achsen-Motorstufe, die bis zu 150 Wafer gleichzeitig aufnehmen kann. Dieses 5-Achsen-System umfasst motorisierte Linear- und Drehstufen mit einem maximalen Stufenweg von 100 mm auf der X-, Y- und R-Achse. Darüber hinaus ist der seitliche Stufenweg bis zu 200 mm auf der X- und Y-Achse möglich. Eine integrierte Optikeinheit ermöglicht die hochgenaue Platzierung jedes Belichtungspunktes auf der Fokusebene. Die Optikmaschine ermöglicht es dem Benutzer auch, die Position der Belichtung, die Vergrößerung und die Feldgröße für jede Belichtung einzustellen. Darüber hinaus bietet NIKON NSR-1505 G7E eine wählbare Auflösung von 1 oder 5 um, so dass der Benutzer zwischen einer höheren Genauigkeit für die Ausrichtung oder einer höheren Genauigkeit der Belichtung wählen kann. NSR 1505 G7E verfügt zudem über ein integriertes Rückseitenbeleuchtungswerkzeug und eine automatische Rückseiteneinbuchtungserkennung. Diese Hintergrundbeleuchtung bietet einen höheren Kontrast während der Filmbelichtung und ermöglicht es dem Benutzer, eventuell vorhandene Rückseitenmerkmale anzuzeigen und zu überprüfen. Das automatische Modell zur Erkennung der Rückseiteneindrückung kann alle Rückseiteneindrücke oder Fehler erkennen, die die Qualität der Exposition beeinträchtigen können. NSR-1505G7E verfügt auch über eine patentierte ultra-niedrige Trägheitsisolationsstruktur für den überlegenen Betrieb des Wafer-Steppers. Diese Struktur ist so konzipiert, dass die optische Ausrüstung aufgehängt wird, wodurch die Auswirkungen von Vibrationen oder Erschütterungen aus der Umgebung eliminiert werden. Darüber hinaus ist NIKON NSR 1505 G7E in der Lage, Wafer-Level, Chip-Level und Submicron-Level-Exposition für maximale Flexibilität in der Lithographie-Produktion. Dieser kostengünstige und leistungsstarke Wafer-Stepper ist die ideale Wahl für jeden Bedarf an Lithographie-Produktion. NIKON NSR-1505G7E ist in der Lage, eine hochgenaue Belichtung für eine Vielzahl von Chipstrukturen bereitzustellen und stets überlegene Ergebnisse zu liefern. Mit einem niedrigen Fußdruck und überlegener Leistung ist dieser Wafer Stepper eine ausgezeichnete Wahl für jede Lithographie-Produktion.
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