Gebraucht NIKON NSR 1505 G7E #9386319 zu verkaufen
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ID: 9386319
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Stepper, 6"
ASAHI S75 Chamber
Chamber temperature: 23°C
Fixed reticle microscope, 15mm
PDP-11/73 Computer
HP 5517A Laser
LSA Laser: 5 mW
ITV Camera
Wafer condition: Silicon
OF Detection
Wafer loader: Type 1
Wafer carrier table: Left / Right
Reticle, 5"
No lens data
Rack type: Right
Electric source: NEMA Box
CVCF
1/2 Switch
1990 vintage.
NIKON NSR 1505 G7E ist ein Hochleistungs-Wafer-Stepper von NIKON, der hervorragende Genauigkeit und Durchsatz für lithographische Anwendungen bietet. Es ist der fortschrittlichste Stepper seiner Klasse, mit einem branchenführenden ± 4 µm für Musterplatzierung Genauigkeit und ± 10 nm für CD-Gleichmäßigkeit. Gebaut mit einer superchromatischen chromatischen Aberration Reduction Optical Equipment (CAROS), bietet es überlegene Bildqualität und das höchste Maß an Mustertreue und Wiederholbarkeit. NIKON NSR-1505G7E verfügt über Lichtquellen mit bis zu 250 W, mehrere Belichtungsmodi und Belichtungsenergie 7. Es hat ein großes Optikfeld von 5,5 Zoll x 5,5 Zoll und eine verbesserte Auflösung von 140 nm oder darunter. Der Stepper nutzt ein einzigartiges RCAS (Robust Corrective Algorithm Shaping) optisches System für überlegene Musterentwicklung, gekennzeichnet durch geringe Objektivverzerrung und Projektionsgenauigkeitsunterschiede mit stark reduzierten Aberrationswerten. Für die Belichtungsgenauigkeit bietet das G7E den innovativen „Exposure Ratio Monitor“, der Echtzeit-Feedback bietet, um die besten Kantenklingel- und Verzerrungseigenschaften zu erhalten. NSR-1505 G7E enthält einen automatischen dichroitischen Farbfilterrevolver, der einfache Änderungen des Beleuchtungsspektrums ermöglicht. Es ist auch mit einer Autofokus-Einheit ausgestattet, die Korrekturen der Feldebenheit vereinfacht, sowie variable Laser-/Intrafeld-Ebenheit/Korrekturstäbe, die ein hochgenaues Wafer-Scannen unterstützen. Die Belichtungsgenauigkeit des G7E wird durch ein „Best-Fit-Prinzip“ weiter verbessert, das optimale Belichtungsenergieeinstellungen und Rezepturentwicklung bietet. Weitere Merkmale von NSR 1505 G7E sind ein luftgekühlter Fokusverschluss, eine automatisierte Wafer-Ausrichtmaschine, zwei Stufen der Wafer-Geschwindigkeitsanpassung an die gewünschte Auflösung und ein Bordbetriebssystem, das eine bessere Datenverwaltung und Sicherheit bietet. Durch die Bereitstellung überlegener Bildgebung und Genauigkeit ist das G7E der Industriestandard für Wafer-Stepper-Technologie. Es eignet sich für ein breites Anwendungsspektrum von der Fabless-Chip-Fertigung bis hin zu High-End-Bildgebungslösungen wie MEMS, Nanolithographie und mikroelektronischer Produktion.
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