Gebraucht NIKON NSR 1505 i6A #293817954 zu verkaufen
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ID: 293817954
Stepper
Numerical Aperture (NA): 0.45
Resolution: 750 nm
DCO: 140
Throughput (WPH): 52.
NIKON NSR 1505 i6A ist ein leistungsstarker, hochpräziser Wafer-Stepper für lithographische Prozesse. Es ist mit vielen hochmodernen Funktionen wie digitalen Servomotoren, einer optischen Linsenausrüstung mit geschlossenem Regelkreis und einer robusten Halter-Sensorik ausgestattet. NSR 1505 i6A ist in der Lage, Bilder mit einer Auflösung von 1,3 μ m, minimal fehlenden Werten von 1,0 μ m, vollautomatische Ausrichtung und während in der Lage, eine vorbestimmte Belichtungsdosis genau zu wiederholen. Das optische System der NIKON NSR 1505 i6A beinhaltet eine patentierte Großapertur, High-Numerical-Aperture (NA) -Linse, die mit digitalen Servomotoren ausgestattet ist. Die digitalen Servomotoren ermöglichen es der Maschine, hochpräzise hochempfindliche Operationen durchzuführen und maximale Geschwindigkeit, Genauigkeit und Auflösung zu erreichen. Die Haltererfassungsfähigkeit der NSR 1505 i6A ist auch dann sehr nützlich, wenn eine genaue Wiederholung einer Belichtungsdosis erwünscht ist, da das Werkzeug genaue Änderungen der Waferhalteroberflächenebene erkennen kann. NIKON NSR 1505 i6A ist in der Lage, hochauflösende Bilder bis zu 1,3 μ m zu erzeugen, abhängig von den Funktionen, die abgebildet werden müssen. Es verfügt auch über ein vollautomatisches Alignment-Asset, das den Ausrichtungsprozess vereinfacht und die Handhabung erleichtert. Das Modell bietet zudem eine gleichmäßige Belichtungsdosis, die eine hohe photolithographische Prozessstabilität garantiert. Es kann eine breite Palette von Wafern in der Größe von 50 bis 200mm sowie viele verschiedene Photomasken-Größen aufnehmen. Kurz gesagt, NSR 1505 i6A ist ein Präzisionsscheibenstepper, der für hochpräzise lithographische Prozesse entwickelt wurde. Es verfügt über ein High-NA-Objektiv mit digitalen Servomotoren, eine Halter-Sensorik und ein vollautomatisches Ausrichtungssystem für präzise Dosiswiederholbarkeit. NIKON NSR 1505 i6A kann eine breite Palette von Wafern aufnehmen und ermöglicht es, hochauflösende Bilder bis zu 1,3 μ m Größe zu erzeugen, die in der Belichtungsdosis einheitlich sind. Die vielen Merkmale der NSR 1505 i6A machen sie zum Werkzeug der Wahl für die feinsten lithographischen Prozesse.
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