Gebraucht NIKON NSR 1505 i7A #293634869 zu verkaufen
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ID: 293634869
Wafergröße: 4"
i-Line stepper, 4"
Non-funtional parts:
Circuit boards: A-5, A-9, A-13, A-17, A-19, A-23, A-34, A-35
(3) Motor modules RT
Z/Theta stage motor module
Stage screw
X-Y Axis motor
Mercury lamp base
Power supply of each module
Wafer and reticle handler of module motor
FIA.
NIKON NSR 1505 i7A ist eine führende Deep-UV-Wafer-Schrittausrüstung, die den anspruchsvollsten lithografischen Anforderungen gerecht wird. Es bietet überlegene Overlay-Genauigkeit, eine breite Palette von Belichtungswerkzeugen und die Fähigkeit, Wafer bis zu einer Größe von 7 Zoll im Durchmesser zu verarbeiten. NIKON NSR-1505I7A nutzt einen leistungsstarken, digital gesteuerten 5 mW I-line ArF Laser, der in der Lage ist, mit einer ganzen Reihe von Belichtungsdosen zu arbeiten. Das System ist mit einer integrierten NFCs (Near-Field Correctors) -Reduktionseinheit ausgestattet, die eine überlegene Leistung und Genauigkeit bietet, indem es eine erweiterte Abflachungsfunktion für nicht-orthogonale Verzerrungen bietet. Unterstützt wird dies durch eine innovative Planwellenbeleuchtungsmaschine, die überlegene Gleichmäßigkeit, reduzierte Aberrationen und hohe Auflösung bietet. Darüber hinaus ist NSR 1505 I7A mit einem Ausrichtwerkzeug mit hoher Kapazität ausgestattet, das eine überlegene Ausrichtgenauigkeit für alle Belichtungsbedingungen und Anwendungen bietet. Das Alignment Asset umfasst eine hochauflösende Sub-Micron-Plattform und ein zum Patent angemeldetes Modell zur automatischen wählbaren Ausrichtung von Retikeln (ASRA). Das ASRA Equipment bietet auch erweiterte Overlay-Messungen, um sicherzustellen, dass jede Probe genau ausgerichtet ist. Das Belichtungssystem der NSR 1505 I 7 A kann auch zur Bearbeitung von Wafern unterschiedlicher Größe, Dicke und Belichtungsanforderungen konfiguriert werden. Dies geschieht mit einer zum Patent angemeldeten Variablen-Tuning-Option, die schnell eingerichtet und auf die spezifischen Anforderungen jeder Anmeldung zugeschnitten werden kann. Darüber hinaus ist NIKON NSR 1505 I7A auch mit einer Vielzahl von Konformitäts- und Belichtungstests ausgestattet. Dies beinhaltet die Fähigkeit, hochgenaue Overlay-Messungen, Expositionsprüfungstests und eine große Auswahl an Wafer Exposure Uniformity-Tests durchzuführen. Abschließend ist NSR-1505I7A eine überlegene Wafer-Schritteinheit mit einer Vielzahl von Belichtungswerkzeugen und der Fähigkeit, Wafer bis zu einer Größe von 7 Zoll zu verarbeiten. Mit der fortschrittlichen Belichtungsmaschine, dem NFC-Fotografie-Reduktionswerkzeug, der zum Patent angemeldeten variablen Tuning-Option und den Overlay-Messungen, Expositionsprüfungen und einer großen Auswahl an Wafer Exposure Uniformity Tests ist NSR 1505 i7A ein ideales bildgebendes Element für viele anspruchsvolle Lithographieanwendungen.
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