Gebraucht NIKON NSR 1505 i7A #9226270 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 i7A ist ein fortschrittlicher Wafer-Stepper, der eine hochpräzise, kostengünstige Lösung zur Strukturierung von Photomasken bei der Herstellung einer Vielzahl von Mikroformen ermöglicht. Diese Maschine wurde entwickelt, um die Produktion und Inspektion von Geräten zu ermöglichen, die so klein wie 190 nm Linie/Raum. Es bietet eine integrierte Ausrüstung, die mit OpenValuePhotomask (OVP) -Software kompatibel ist und eine einfach zu bedienende automatisierte Plattform mit effizienten Einrichtungsverfahren bietet. NIKON NSR-1505I7A ist ein 5-achsiges, parallelstrahlendes, beleuchtetes Maskenabtastsystem, das ein hochauflösendes Projektionsobjektiv verwendet, um ein Bild auf eine Maske oder einen Wafer zu fokussieren. Es bietet eine Feldgröße von 40 mm in x- und y-Achsenrichtung und kann für sub-100 nm Musterung verwendet werden. Die Klebemöglichkeit ermöglicht eine Reduzierung der Kosten für die Maskenherstellung, so dass die Maschine eine ideale Wahl für eine höhere Serienproduktion wird. NSR 1505 I7A ermöglicht doppelseitige Belichtungen mit unabhängigen Belichtungsköpfen für beide Seiten. Eine einstellbare Wärmesteuerung sorgt für eine exakte Prozesstemperatur zur besseren Prozesssteuerung. Die eingebaute Ausrichtmaschine ermöglicht eine präzise Overlay-Analyse, die eine präzise Platzierung verschiedener Muster auf dem Wafer ermöglicht. Die Maschine bietet auch Funktionen wie automatischen Maskentransport und Wafer-Transfer, zusammen mit einem automatisierten Wafer-Spannfutter Positioniermechanismus für genaue und schnellere Wafer-Zentrierung. Darüber hinaus verfügt NIKON NSR 1505 I7A über eine hochauflösende Messfähigkeit, mit der Maskenmerkmale identifiziert werden können, die bis zu 70 nm klein sind. Das i7A ist mit einem dreidimensionalen Autofokus-Tool ausgestattet, um eine genaue Ausrichtung von Maske und Wafer und eine verbesserte Wafer-zu-Wafer-Gleichmäßigkeit zu ermöglichen. Letztlich ist NSR-1505I7A ein leistungsstarker, präziser und skalierbarer Wafer-Stepper, der einen kosteneffizienten Produktionsprozess mit hervorragenden Ergebnissen ermöglicht. Unter Verwendung fortschrittlicher Automatisierungsfunktionen und einer hochfähigen optischen Komponente ist diese Maschine eine ausgezeichnete Lösung für die fortschrittliche Maskenherstellung und -inspektion.