Gebraucht NIKON NSR 1505 i7A #9299960 zu verkaufen

NIKON NSR 1505 i7A Wafer Stepper ist eine fortschrittliche hochpräzise Lithographie-Ausrüstung für die Massenproduktion von Halbleiterbauelementen. NIKON NSR-1505I7A bietet eine einzigartige Leistung und eignet sich ideal für die mittlere und geringe Abscheidung von Photomasken und anderen Produkten. Es verfügt über einen vollautomatischen Schnellwechsellader/Entlader, der den gleichzeitigen Austausch von Wafern, Masken, Platten und Substraten ermöglicht. NSR 1505 I7A ist mit hochmodernen CCD-Weitfeld-Bildgebungssystemen und fortschrittlicher Optik zur präzisen optischen Ausrichtung von Wafer und Photomasken ausgestattet. Die bildgebenden Systeme ermöglichen eine hochauflösende Bildgebung, wodurch sehr kleine Gerätefunktionsgrößen mit außergewöhnlicher Genauigkeit aufgelöst werden können. Das CCD-Bildgebungssystem besteht aus zwei Objektivsätzen und einer für die Lithographie optimierten hochauflösenden CCD-Kamera. Die CCD-Kamera hat eine maximale Bildfläche von 256mm x 256mm, um alle gängigen Fotomasken- und Wafergrößen zu unterstützen. Wafer-Mapping, Kantenerkennung und Ausrichtung mit der Kamera ermöglicht eine präzise Ausrichtung von Maske und Wafer. Das Gerät verfügt auch über eine Hochleistungs-Kammer One widersteht Abruf Maschine entwickelt, um Resistentfernungszeit zu reduzieren und Widerstandsverbrauch zu minimieren. Es umfasst eine Hochvakuumkammer, ein einstufiges Übertragungswerkzeug und einen Hochdruck-Kohlendioxidstrahlvorrat für eine effektive Resistentfernung. Das Modell verfügt auch über eine hochgenaue Belichtungsausrüstung, die eine hochgenaue Resistbelichtung mit ausgezeichneter Gleichmäßigkeit über die gesamte Waferoberfläche liefert. NIKON NSR 1505 I 7 A verfügt auch über ein hochpräzises Kommissioniersystem, das eine reibungslose und genaue Platzierung und Bewegung von Wafern und Photomasken unterstützt. Das Gerät verfügt über einen Hochgeschwindigkeits-Shaker und hochauflösende Aktoren zur präzisen Einstellung von Wafer und Fotos Platzierung. Die Staging-Maschine ist außerdem mit einem skalierbaren Wafer-Tracking-Tool ausgestattet, das angepasst werden kann, um mehrere Wafer zu unterstützen und gleichzeitig die manuelle Entfernung von Wafern für kritische Operationen zu ermöglichen. NSR 1505 I 7 A ist auch mit einem spezialisierten Inspektions- und Ausrichtungsgut ausgestattet, das Fehler erkennen und eine präzise Ausrichtung und Bildkorrektur durchführen kann. Das Modell kann Partikel detektieren, die kleiner als 2 Mikrometer sind, und verfügt über NIKON mehrstufige Mustererkennungsgeräte für eine schnelle und genaue Ausrichtung. Das System unterstützt auch die Ausrichtung von Wafern nach der Abscheidung und dem Belichtungsprozess, um die höchste Qualität des Prozesses zu gewährleisten. NIKON NSR 1505 I7A ist ein fortschrittlicher, hochpräziser Wafer-Stepper, der sich perfekt für mittel- bis niedervolumige Lithographiebetriebe eignet. Es bietet hervorragende Genauigkeit und Gleichmäßigkeit für die Produktion von Photomasken und Wafern, und seine vollautomatische Austauscheinheit und Hochleistungs-Resist-Retrieval und Inspektionssysteme ermöglichen effiziente und gleichbleibend hochwertige Ergebnisse.