Gebraucht NIKON NSR 1755 G7A #293610524 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1755 G7A
ID: 293610524
Wafergröße: 6"
Stepper, 6" (5) Reticles NEST-3 FIA Changer.
NIKON NSR 1755 G7A ist ein halbautomatischer Waferstepper, der speziell für die präzise Lithographie-Verarbeitung in der Halbleiterindustrie entwickelt wurde. Es ist einer der fortschrittlichsten und zuverlässigsten Stepper seiner Klasse, der in der Lage ist, fortschrittliche Geräteschichten mit einer Auflösung von bis zu 0,26 μ m erfolgreich zu verarbeiten. NIKON NSR-1755G7A wird durch eine 4.500 W ArF excimer Hochleistungslaserlichtquelle gesteuert, auf ausgezeichnete Bildqualität und Gleichförmigkeit sogar mit der höchsten Geschwindigkeit hinauslaufend. Es verfügt über eine integrierte Ausrüstung von fortschrittlichen Lithographie-Komponenten, die verschiedene Arten von Substraten verarbeiten können, einschließlich geschnittener und ungeschnittener Wafer. Mit einer beeindruckenden Strukturierungsrate von 86.000 Düsen pro Stunde und einer erweiterten Ausrichtungsgenauigkeit von 0,5 μ m eignet sich NSR-1755 G7A gut für hochdichte und großvolumige Fertigungsvorgänge. Die Maschine ist mit einem NIKON Vector Aligner (NVA) und einem zweistufigen System ausgestattet, das die Ausrichtung von Mustern auf mehreren Schichten optimieren kann, um die höchste Produktionsausbeute zu erzielen. Die NVA nutzt Deep Ultraviolet (DUV) Lasermikroskopie für eine schnelle und präzise Laserausrichtung auf Substratebene, so dass selbst die schwierigsten Ausrichtungs- und Positionierungsprobleme genau erkannt werden können. Die Maschine verfügt auch über einen integrierten Wellenfrontmonitor, der die Steuerung der Wellenfrontaberration unterstützt, um eine ausgezeichnete Bildgebung über eine Vielzahl von Belichtungseinstellungen zu erhalten. Als weiteres Merkmal umfasst die NSR 1755 G7A eine integrierte Resist-Dispergiereinheit und eine genaue Mikrometer-abgeleitete Düse, die eine gleichmäßige Dispergierung von Resists gewährleistet. Dieses Merkmal gewährleistet eine ordnungsgemäße Beschichtung des Substrats und verhindert eine Kreuzkontamination des Resistes, wodurch diese Maschine hochgenau und effizient ist. NSR-1755G7A ist mit einer kompakten und pflegeleichten Architektur konzipiert und ist damit eine der kostengünstigsten Lösungen für die Lithographiebearbeitung. Die Maschine besteht aus einer luftgekühlten Scheinwerfermaschine, die ihre Einrichtung und Wartung vereinfacht, während ihr Körper mit einer verblassungsfreien Polycarbonatoberfläche ausgelegt ist, mit einer Abschirmung zum Schutz der Bediener während der Arbeit. Kurz gesagt, NIKON NSR-1755 G7A ist ein halbautomatischer Wafer-Stepper, der eine präzise Lithographie-Verarbeitung für fortgeschrittene Geräteschichten mit einer Auflösung von bis zu 0,26 μ m ermöglicht. Die Maschine wird mit einem einheitlichen Werkzeug von fortgeschrittenen Steindruckverfahrenbestandteilen, einer 4.500 W ArF excimer Hochleistungslaserlichtquelle ausgestattet, eine genaue Mikrometer-abgeleitete Schnauze dafür widerstehen Streuung und einem NIKON-Vektoren Aligner, um genaue Anordnung von Mustern zu sichern. Es ist eine effiziente und rentable Maschine, es eine ideale Wahl für dichte und Großseriensteindruckverfahrenverarbeitungsoperationen machend.
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