Gebraucht NIKON NSR 1755 G7A #9226367 zu verkaufen

NIKON NSR 1755 G7A ist ein 5-Achsen-Wafer-Stepper mit fortschrittlicher telezentrischer Optik und einem fortschrittlichen 180 ° -Verschluss mit maximaler Ausrichtungsgenauigkeit. Sein hoher Staubschutz verhindert, dass Partikel in die Maschine gelangen und gewährleistet eine zuverlässige Waferbearbeitung. NIKON NSR-1755G7A verfügt über eine hochpräzise und schnelle Mustergenerierung mit 0,1 μ m/Pixelauflösung und 21 nm Schussgrößengenauigkeit sowie einem geringen Platzbedarf und einem hohen Produktivitätsdesign. Der Stepper ist mit einem doppelten Spannmechanismus für die Handhabung von 200 und 300 mm Substraten gebaut. Es ist mit einem Kassettenlader mit großer Kapazität ausgestattet, der bis zu 7 Kassetten aufnehmen kann und einen nahtlosen Substrattransfer bietet, der Zeitverlust verhindert und die Produktionseffizienz verbessert. Der Stepper wurde entwickelt, um eine hervorragende Auflösung, eine präzise Ausrichtung und einen optimierten Durchsatz zu ermöglichen. Seine telezentrische Optik ist in der Lage, Aberrationen zu reduzieren, während die 180 ° -Verschluss-Funktion eine hochpräzise Ausrichtung gewährleistet und eine verbesserte Ausrichtung der an jeder Belichtungsstelle gebildeten Leitungen bietet. Der Verschlusswinkel kann für Feinabstimmungsmuster leicht eingestellt werden. Darüber hinaus reduziert das Dual-Chucking-Verfahren den gesamten Systemdurchsatz und ermöglicht eine effiziente Handhabung von 200 und 300 mm Substraten. Mit NSR-1755 G7A können Anwender auf verschiedene Prozessmodule wie Lithographie, Waferbelichtung, Filmentwicklung und Plasmaätzung zugreifen. Das Lithographiemodul bietet 5-Achsen-Bewegung von Wafern und verschiedene Sensorfunktionen, die eine präzise Belichtung von Merkmalen ermöglichen. Das Waferbelichtungsmodul ist in der Lage, hochpräzise mit einer Auflösung von 0,1 μ m/Pixel und Pulververlusten durch Vereinzelung zu drucken. Das Folienentwicklungsmodul bietet zudem eine hochproduktive Verarbeitung mit seinem optimierten Cassette-Transfersystem. Schließlich bietet das Plasmaätzmodul den Anwendern die Möglichkeit, Funktionen mit 10 μ m Auflösung zu ätzen. Insgesamt ist NIKON NSR-1755 G7A ein leistungsstarker Wafer-Stepper, der sich gut für Präzisionslithographie und Waferbearbeitung eignet. Es ist mit fortschrittlicher telezentrischer Optik, einem 180 ° -Verschluss und einem doppelten Spannmechanismus für effizientes Substrathandling ausgestattet. Der Stepper ist in der Lage, eine hochpräzise, schnelle Mustergenerierung mit 0,1 μ m/Pixelauflösung und 21 nm Schussgrößengenauigkeit bereitzustellen. Mit seinen verschiedenen Prozessmodulen ist NSR 1755 G7A eine ideale Ausrüstung für die Feinabstimmung kleiner Funktionen mit ausgezeichneter Auflösung und Durchsatz.