Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9235673 zu verkaufen

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NIKON NSR 1755 i7A
Verkauft
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1755 i7A
ID: 9235673
Steppers.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein hochentwickelter Wafer-Stepper, der für die Herstellung von CMOS-Geräten und anderen empfindlichen integrierten Schaltungen entwickelt wurde. Es ist Teil der modernsten 300mm Advanced Performance Platform von NIKON. NIKON NSR 1755I7A ist mit einer Abtaststufe bestehend aus einer Wafer Stabilization Unit (WSU) und einem Substrate Motion Step Drive (SMSD) konzipiert, beide um eine genaue, stark wiederholbare Abtastung des Wafers zu gewährleisten. Es verwendet ein proprietäres NSR-S202B optisches Objektiv, das mit einem innovativen Design mit niedrigen Aberrationen entworfen wurde, das hochauflösende Bilder auch bei schnellen Scangeschwindigkeiten hervorbringt. NSR-1755I7A verfügt über eine automatisierte Beleuchtungseinheit, die die exakte Positionierung des Belichtungsfeldes auf der Waferoberfläche gewährleistet. Es enthält auch eine sechsachsige Strahllenkeinheit, die die genaue Ausrichtung des Belichtungsfeldes durch direkte Lagesteuerung der optischen Bauelemente erreichen soll. NSR 1755I7A ist mit einem Multi-Reticle Inspektionsmechanismus entwickelt, um die Genauigkeit und Zuverlässigkeit der Inspektion und Prozesskontrolle zu verbessern. Es verfügt auch über ein proprietäres Reactive Ion Etching (RIE) -System, das entwickelt wurde, um die Waferoberfläche für eine optimale Belichtungsfläche genau zu ätzen. NSR 1755 i7A ist auch mit einer umfassenden Palette von Tools zur Überwachung der Prozessvariabilität konzipiert. Dies beinhaltet die IBO-Fähigkeit (Image Based Overlay), mit der Benutzer die Ausrichtungsgenauigkeit überwachen und anpassen können, um den maximalen Ertrag sicherzustellen. Es umfasst auch ein integriertes Kontamination Control System (CCS), das zur Messung und Kontrolle von Partikeln, Feuchtigkeit und anderen Verunreinigungen in Prozessgasen entwickelt wurde. NSR 1755 I 7 A wurde entwickelt, um scangesteuerte Wafer-Funktionen mit hohem Durchsatz bereitzustellen, die es Anwendern ermöglichen, schnell von einem Prozess zum nächsten mit vernachlässigbaren Verzögerungen zu wechseln. Es umfasst sowohl fortschrittliche Bewegungssteuerung als auch ausgefeilte Linsenkorrekturfunktionen, die eine genaue Erweiterung des Belichtungsfeldes und der Auflösung sowie eine präzise Strahlausrichtung für optimale Ergebnisse ermöglichen. Darüber hinaus ist NIKON NSR-1755 I 7 A für die einfache Integration in bestehende Fabs mit einfachen Vakuum- und Prozessgaslieferungs- und Kommunikationsschnittstellen konzipiert. NIKON NSR-1755I7A wurde entwickelt, um unübertroffene Leistung für die fortschrittlichsten Prozesse von heute zu bieten. Mit seinen robusten Funktionen können sich Anwender auf NSR-1755 I 7 A verlassen, um ein Höchstmaß an Produktivität zu bieten.
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