Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9236936 zu verkaufen

NIKON NSR 1755 i7A ist eine große Lithographie-Ausrüstung für die Massenproduktion integrierter Schaltungen. Es ist ein Vollfeld, kontaminatfrei und umweltfreundlich lystepper. NIKON NSR 1755I7A kann einen hohen Durchsatz, hohe Genauigkeit und hohe Wiederholbarkeit bei der Herstellung von Halbleiterbauelementen erreichen. NSR-1755I7A verwendet ein Scanfeld von 500mm, mit einer Restabtastfeldabweichung (RMS) von 0,5 μ m oder weniger. Es ermöglicht eine Scanrate von bis zu 25,3 Wafern pro Stunde bei hoher Auflösung und Durchsatz. Die effektive Schichttiefe des Fokus (DOF) ist größer als 50 μ m, und die Resistplatzierung Ebenheit liegt innerhalb von 0,18 μ m. Die hohe Auflösung dieses Systems ermöglicht eine kritische Dimensionsänderung von bis zu 0,6 μ m. Es verfügt auch über eine fortschrittliche Laser-Overlay-Ausrichteinheit, die eine Genauigkeit von bis zu 0,1 μ m für das Overlay zwischen Schichten bietet. Darüber hinaus ist die Maschine mit hochempfindlichen Laserverunreinigungssystemen ausgestattet, die eine Erhöhung des Durchsatzes und der Ausbeute ermöglichen. Das ist wegen der eingebauten Oblatenverunreinigungsverhinderungsmaßnahmen des Werkzeugs möglich, die die Möglichkeit von Partikeln hemmen, die in den Steindruckverfahrenvermögenswert eingehen. Es verwendet auch fortschrittliche, hochpräzise Vibrationsreduktionssysteme zur Steuerung thermischer und elektrischer Effekte auf die Abtastoptik und das Positionierungsmodell. Dieser Stepper verfügt außerdem über eine einzigartige Doppelbelichtungsausrüstung, ein Di-Quad-Head-Scanning und ein erweitertes, nicht fokusabhängiges Scansystem. Die Doppelbelichtungseinheit ermöglicht die gleichzeitige Bearbeitung gegenüberliegender Seiten des Substrats, während die fokusunabhängige Abtastmaschine die Wahrscheinlichkeit verringert, dass aufeinanderfolgende lichtempfindliche Schichten aufgrund von DOF-Fehlstellungen ausfallen. Insgesamt ist NIKON NSR-1755 I 7 A Stepper ein fortschrittliches und zuverlässiges Photolithographie-Tool, das viele der neuesten Technologien bietet. Es bietet hohen Durchsatz, hohe Genauigkeit und hohe Wiederholbarkeit für die Massenproduktion von integrierten Schaltungen. Sein fortschrittliches Design sorgt für hohe Leistung und zuverlässige Ergebnisse für die Herstellung einer breiten Palette von integrierten Schaltungsgeräten.