Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9248848 zu verkaufen

NIKON NSR 1755 i7A
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1755 i7A
ID: 9248848
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Stepper, 6", parts system System: PDP11/73 Hard Disk Drive (HDD) Control rack: Left Wafer stage: 6" Flat Wafer stage screw: Ball screw Wafer alignment: LSA Auto focus: Single point Wafer loader: Type 1 Flat type Cassette (Left and right) Reticle size: 5" Reticle microscope: 15/17.5 mm Reticle loader: Normal No expansion library No PPD No PD Control temperature: LATC and chamber Chamber model: ASAHI (S78) Chamber size: 1500 VT286 Camera control unit Video converter 2 VDA1401A (2) Plates LSA Laser tube LC-SIG4 WGA Laser tube X and Y Ball screw X and Y Motor unit AFINTF (AF68) HEWLETT-PACKARD / AGILENT / KEYSIGHT 5517A Laser head Z Motor unit AF Motor unit CT Unit Pre 1, 2 units Cassette plate Vacuum box (2) Laser power Power supply Fly eyes unit (2) PLC CPU Missing parts 1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein hochpräziser Waferstepper der nächsten Generation, der den Anforderungen großer Produktionslinien gerecht wird. Seine Funktionen bieten unübertroffenen Durchsatz und enge Funktion und Overlay-Registrierung. NIKON NSR 1755I7A ist mit NIKON patentierten ultrahochauflösenden 9-Achsen-Scanning-Geräten für präzise Waferausrichtung, präzise Ausrichtung von Folienchromen und Stufen- und Wiederholungsregistriergenauigkeit von bis zu 0,5 μ m mit AE-Messfähigkeit ausgestattet. Darüber hinaus bietet das integrierte Split-Optics-Wafer-Stepping-System ein einzigartiges Feature überlappender Ansichtsfelder, um mehrere Belichtungen schnell auszurichten. NSR-1755I7A wird von einem leistungsstarken, Windows-basierten 7E Controller mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und vielseitigen Mustergenerierungstools für eine einfache Bedienung und Prozesssteuerung angetrieben. Das Gerät wird auch mit NIKON i-Vision Software-Paket geliefert, das Fehlerinspektions- und Overlay-Steuerungsfunktionen beinhaltet. NIKON NSR 1755 I 7 A beinhaltet einen Ein-Mikroskop-Ansatz, der die Anzahl der mechanischen Teile reduziert und den Ausrichtvorgang vereinfacht. Dies ermöglicht schnelle Belichtungszeiten, so dass die Maschine auch bei hohen Ausrichtungsgeschwindigkeiten hochwertige Bilder erzeugen kann. Weitere Merkmale des NSR-1755 I 7 A sind das Mehrfachmasken-Ausrichtungswerkzeug, das sicherstellt, dass mehrere Masken, die zu demselben Feld hinzugefügt werden, genau ausgerichtet werden können. sein automatisierter Nähmodus, der eine Kompensation des globalen Filmverzugs ermöglicht; und seiner Filterausrichtungsmesstechnik, die Nicht-Standardmuster für die Ausrichtungsgenauigkeit eliminiert. Darüber hinaus ist NIKON NSR-1755 I 7 A sehr anpassungsfähig an verschiedene Prozessumgebungen, mit konfigurierbaren Tauchflüssigkeitsstufen, mehreren Kammerkonfigurationen und einer optionalen Zoner-Druckbeaufschlagungsoption. Der modulare Aufbau erleichtert die Installation und Wartung. Insgesamt bietet NIKON NSR-1755I7A schnellen Durchsatz und hochpräzise Bilder mit enger Registrierung, Genauigkeit und Overlay-Kontrolle. Dieser Wafer-Stepper ist eine ideale Wahl für die Herstellung von Wafern in Großserien.
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