Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9248848 zu verkaufen
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ID: 9248848
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Stepper, 6", parts system
System: PDP11/73
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: 6" Flat
Wafer stage screw: Ball screw
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Type 1
Flat type
Cassette (Left and right)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15/17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and chamber
Chamber model: ASAHI (S78)
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X and Y Ball screw
X and Y Motor unit
AFINTF (AF68)
HEWLETT-PACKARD / AGILENT / KEYSIGHT 5517A Laser head
Z Motor unit
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1, 2 units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein hochpräziser Waferstepper der nächsten Generation, der den Anforderungen großer Produktionslinien gerecht wird. Seine Funktionen bieten unübertroffenen Durchsatz und enge Funktion und Overlay-Registrierung. NIKON NSR 1755I7A ist mit NIKON patentierten ultrahochauflösenden 9-Achsen-Scanning-Geräten für präzise Waferausrichtung, präzise Ausrichtung von Folienchromen und Stufen- und Wiederholungsregistriergenauigkeit von bis zu 0,5 μ m mit AE-Messfähigkeit ausgestattet. Darüber hinaus bietet das integrierte Split-Optics-Wafer-Stepping-System ein einzigartiges Feature überlappender Ansichtsfelder, um mehrere Belichtungen schnell auszurichten. NSR-1755I7A wird von einem leistungsstarken, Windows-basierten 7E Controller mit einer benutzerfreundlichen Oberfläche und vielseitigen Mustergenerierungstools für eine einfache Bedienung und Prozesssteuerung angetrieben. Das Gerät wird auch mit NIKON i-Vision Software-Paket geliefert, das Fehlerinspektions- und Overlay-Steuerungsfunktionen beinhaltet. NIKON NSR 1755 I 7 A beinhaltet einen Ein-Mikroskop-Ansatz, der die Anzahl der mechanischen Teile reduziert und den Ausrichtvorgang vereinfacht. Dies ermöglicht schnelle Belichtungszeiten, so dass die Maschine auch bei hohen Ausrichtungsgeschwindigkeiten hochwertige Bilder erzeugen kann. Weitere Merkmale des NSR-1755 I 7 A sind das Mehrfachmasken-Ausrichtungswerkzeug, das sicherstellt, dass mehrere Masken, die zu demselben Feld hinzugefügt werden, genau ausgerichtet werden können. sein automatisierter Nähmodus, der eine Kompensation des globalen Filmverzugs ermöglicht; und seiner Filterausrichtungsmesstechnik, die Nicht-Standardmuster für die Ausrichtungsgenauigkeit eliminiert. Darüber hinaus ist NIKON NSR-1755 I 7 A sehr anpassungsfähig an verschiedene Prozessumgebungen, mit konfigurierbaren Tauchflüssigkeitsstufen, mehreren Kammerkonfigurationen und einer optionalen Zoner-Druckbeaufschlagungsoption. Der modulare Aufbau erleichtert die Installation und Wartung. Insgesamt bietet NIKON NSR-1755I7A schnellen Durchsatz und hochpräzise Bilder mit enger Registrierung, Genauigkeit und Overlay-Kontrolle. Dieser Wafer-Stepper ist eine ideale Wahl für die Herstellung von Wafern in Großserien.
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