Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9250067 zu verkaufen
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ID: 9250067
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Inline + Cassette (L)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temperature: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
VT286
Camera control unit
Video converter 2
VDA1401A
(2) Plates
LSA Laser tube
LC-SIG4
WGA Laser tube
X & Y Ball screws
X, Y & Z Motor units
AFINTF AF68
HP / HEWLETT-PACKARD 5517A Laser head
AF Motor unit
CT Unit
Pre 1&2 Units
Cassette plate
Vacuum box
(2) Laser power supplies
Power supply
Fly eyes unit
(2) PLC CPU
Missing parts
1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein hochmoderner Wafer-Stepper, der den Anforderungen der nächsten Generation der Halbleiterherstellung gerecht wird. Diese Maschine verwendet digitale Optik-Technologie, um hochauflösende Bildgebung von Photomasken mit engen Funktion Steuerung und ausgezeichnete Overlay in den modernsten Technologien zu produzieren. Das Gerät ist mit zwei Belichtungsstrahlen ausgestattet, die einen Bereich von Substraten von 12 mm bis 300 mm handhaben können. Sie ist mit einer Stufe zur automatischen Steuerung der Waferposition und Ausrichtung gekoppelt. Eine hochpräzise 3-Achsen-Stufe wird mit einer 1-Achsen-Neigungsregelung kombiniert, die eine wiederholbare Steuerung aller für die Bildgebung notwendigen Achsen gewährleistet. Es ist in der Lage, eine maximale Auflösung von 0,25 µm zu erreichen, unter Beibehaltung der Ausrichtungsgenauigkeit innerhalb von 1,5 µm. NIKON NSR 1755I7A verfügt über eine automatisierte Prozesssteuerungsplattform, die es Anwendern ermöglicht, den Bildgebungsprozess mit minimalem menschlichen Eingriff zu steuern. Diese Steuerplattform überwacht und passt Belichtungsdosiswerte und Prozessparameter während eines Aufgabenzyklus an, wodurch die bildgebende Qualität optimiert wird. Mit seiner hohen Messgenauigkeit kann er minimale Defekte an einem Wafer erkennen und das Projektionsbildsystem stoppen, bevor eine Nichteinhaltung auftritt. Darüber hinaus verfügt NSR-1755I7A über eine erweiterte Datenanalyse- und Datenverwaltungssoftware, mit der Benutzer Bilder analysieren und Daten zur weiteren Analyse erfassen können. Diese Datenanalyse und Managementeinheit unterstützt die Analyse von Fehleranalysen, Dosisdaten und anderen Qualitätskontrollparametern. NSR 1755 i7A ist mit hoher Zuverlässigkeit gebaut und enthält redundante Komponenten, um eine konstante Verfügbarkeit von Produktionsanwendungen zu gewährleisten. Es ist auch mit einem umweltfreundlichen Fokus entworfen, was den Wasser- und Energieverbrauch für den Betrieb reduziert und eine bessere Umwelt schafft. Die Maschine ist für sicheren Betrieb und Wartung konzipiert, um langfristige Leistung zu gewährleisten. Zusammenfassend ist NSR-1755 I 7 A ein fortschrittlicher und vielseitiger Wafer-Stepper, der den hohen Anforderungen der Halbleiterherstellung der nächsten Generation gerecht wird. Die digitale Optiktechnik und die ausgeklügelte Prozesskontrollplattform ermöglichen es Anwendern, optimale Abbildungsergebnisse innerhalb höchster Präzisionsanforderungen zu erzielen.
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