Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9250068 zu verkaufen
URL erfolgreich kopiert!
Tippen Sie auf Zoom
ID: 9250068
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1990
Stepper, 6"
Hard Disk Drive (HDD)
Control rack: Left
Wafer stage: Flat, 6"
Wafer stage screw: Ball
Wafer alignment: LSA
Auto focus: Single point
Wafer loader:
Flat, 6"
Type 1
Cassette (L+R)
Reticle size: 5"
Reticle microscope: 15 / 17.5 mm
Reticle loader: Normal
No expansion library
No PPD
No PD
Control temp: LATC and Chamber
Chamber: ASAHI S78
Chamber size: 1500
1990 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein Wafer-Stepper mit einem Hochleistungs-Projektionsobjektiv für präzise und präzise Operationen. Diese fortschrittliche Ausrüstung ist für 15-nm-Knoten und darunter ausgelegt und verfügt über einen vollautomatischen Betrieb, eine überlegene Überlagerungsgenauigkeit und einen Durchsatz von bis zu 30% über dem Branchendurchschnitt. NIKON NSR 1755I7A bietet auch eine breite Palette von Höhenmodi, von Standard bis zu Super-Hochpräzisionsmodus mit Nanometer-Genauigkeit. NSR-1755I7A verfügt über eine neue Generation von Projektionsoptiken auf Basis neutraler Partikeloptiken. Dieser Vorgang ermöglicht den Betrieb an 15 nm Knoten und darunter, ohne die Projektionsvergrößerung zu erhöhen. Darüber hinaus wird auch die Gleichmäßigkeit des Projektionsbildes über das gesamte Sichtfeld verbessert. Mit dem Zusatz eines CCD-basierten automatisierten Ausrichtsystems bietet dieser Stepper eine hochgenaue Waferausrichtung, was zu einer verbesserten Overlay-Genauigkeit führt. NSR 1755I7A verfügt über eine 12-Zoll-Waferstufe, ausgestattet mit einer beispiellosen Auslaufzeit von 2 Sekunden und einer Substrat-Neigungskorrektureinheit. Diese Maschine liefert maximalen Durchsatz und Ausbeute und ist in der Lage, bei sehr niedrigen Temperaturen von -50 ° C zu arbeiten, wodurch das Risiko einer temperaturabhängigen Überbelichtung von Maskenmustern reduziert wird. Darüber hinaus ist NIKON NSR-1755 I 7 A mit einem vollautomatischen Prozesskontrollwerkzeug ausgestattet, das einen präzisen und stabilen Betrieb ohne manuellen Eingriff ermöglicht. Darüber hinaus verfügt es über ein hochempfindliches Infrarot-Ausrichtungs-Asset, das eine schnelle Belichtungsausrichtung ohne optische Ausrichtungsmuster ermöglicht. Mit dem NIKON NSR 1755 I 7 A Wafer Stepper lassen sich komplexe Maskenmuster präzise und gleichmäßig projizieren, was eine extrem hohe Belichtungsqualität ergibt. Dies zusammen mit dem hohen Durchsatz des Modells, niedrigen Betriebskosten und unübertroffener Leistung machen es zu einer idealen Lösung für die Serienproduktion von elektronischen Geräten der nächsten Generation.
Es liegen noch keine Bewertungen vor