Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9254167 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1755 i7A
ID: 9254167
Wafergröße: 6"
Weinlese: 1991
Stepper, 6" Hard Disk Drive (HDD) Control rack: Left Wafer stage: Flat, 6" Wafer stage screw: Ball screw Wafer alignment: LSA Auto focus: Single point Wafer loader: Flat, 6" Type 1 Inline and cassette (Left) Reticle size: 5" Reticle microscope: 15 / 17.5 mm Reticle loader: Normal No expansion library No PPD No PD Control temperature: LATC and Chamber Chamber: ASAHI S78 Chamber size: 1500 1991 vintage.
NIKON NSR 1755 i7A ist ein hochpräziser Waferstepper zur Herstellung von integrierten Schaltungen auf Halbleiterscheiben in Reinraumumgebung. Es ist ein automatisiertes Lithographie-Tool, das Licht verwendet, um Muster auf der Waferoberfläche nach einem vorprogrammierten Design zu erzeugen. NIKON NSR 1755I7A wurde entwickelt, um eine hohe Mustergenauigkeit mit einer Belichtungsfläche von 420 mm und einer Feldgröße von 5,7 m bereitzustellen. NSR-1755I7A ist mit zwei getrennten Lichtquellen ausgestattet. Eine der Quellen ist ein KrF Exculite Laser, der eine Wellenlänge von 248nm und eine Impulslänge von 15ns liefert. Diese Quelle ermöglicht es der Maschine, Lithographiemuster mit hoher Treue zu fertigen. NIKON NSR-1755I7A verfügt auch über einen Hamamatsu H8500 Photomultiplier zur Detektion der Lichtintensität. Durch diese Hilfsquelle kann NIKON NSR 1755 die Lichtleistung des KrF-Exculitlasers genau messen und steuern. Neben seinem hochpräzisen Design ist NSR 1755 i7A auch für seine große Kapazität bekannt. Dieser Wafer Stepper ist in der Lage, 2 „- 6“ Wafer, sowie Belichtungsmuster bis zu 400mm Quadrat zu stufen. Es ist auch in der Lage, bis zu 30 Wafer pro Stunde zu verarbeiten. Darüber hinaus ist sein Belichtungskopf in der Lage, eine genaue, wiederholbare Schritt-und-Wiederholungs-Strukturierung mit einer maximalen Zellgröße von 0,1 µm zu erreichen. Die Maschine umfasst auch ein fortgeschrittenes Bühnensystem, mit dem der Benutzer den Wafer schnell in den gewünschten Koordinaten positionieren kann. Es enthält auch eine breite Palette von benutzerdefinierbaren Parametern, die eine präzise Steuerung auf Waferebene ermöglichen. Dieses automatische Präzisionsbelichtungssystem (APES) enthält eine Autofokus-Funktion, die die Belichtungseinstellungen anpasst, um eine konstant hohe Geschwindigkeit und Genauigkeit zu gewährleisten. NIKON NSR 1755 I 7 A ist ein extrem zuverlässiger Waferstepper, der sich für anspruchsvolle Produktionsumgebungen eignet. Es wurde mit fortschrittlichen Sicherheitsprotokollen entworfen, die die Sicherheitsvorschriften der Industrie einhalten, um einen sicheren Reinraumbetrieb zu gewährleisten. Die geringen Wartungsanforderungen und die robuste Konstruktion ermöglichen es, über lange Zeiträume im Dauerbetrieb zu arbeiten. NSR 1755I7A ist ein zuverlässiger, leistungsfähiger Wafer-Stepper, der sich ideal für die Herstellung komplizierter Halbleiterbauelemente in einer Reinraumumgebung eignet. Seine große Kapazität, hohe Präzision und robuste Konstruktion machen es zu einem der zuverlässigsten Lithographiesysteme, die zur Verfügung stehen.
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