Gebraucht NIKON NSR 1755 i7A #9279743 zu verkaufen

NIKON NSR 1755 i7A ist ein High-End-Vollfeld-Scanning-Wafer-Stepper, der speziell für den Einsatz auf 300 mm (12-Zoll) -Wafern entwickelt wurde. Der Scanner wurde entwickelt, um auch bei niedrigen Dosen eine hohe Overlay- und CD-Genauigkeit (kritische Dimension) zu bieten. NIKON NSR 1755I7A ist mit einem 7-Zoll-Objektiv ausgestattet und verfügt über eine zweiseitige Ausrichtungsmarkenerkennungseinrichtung, einschließlich eines Quadra-Ausrichtungssensors und einer programmierbaren Photodiodenanordnung zur genauen Ausrichtung und Registrierung. Ein verbessertes Kameradesign bietet eine verbesserte chromatische Aberrationssteuerung und eine überlegene Auflösung. NSR-1755I7A ist mit einem fortschrittlichen magnetischen Flussanalysesystem ausgestattet, das eine hohe Belichtungssteuerung und schnelle Ausrichtung von Overlays für verschiedene Lithographieverfahren wie erweiterte Knoten und Speicherknoten bietet. Der Wafer-Stepper verfügt auch über eine „Bottom-up“ -Konfigurationseinheit, die maximalen Fokus unterstützt, da sie die optischen und mechanischen Instabilitäten kompensiert, die bei Bottom-up-Belichtung auftreten. Darüber hinaus enthält NIKON NSR 1755 I 7 A auch einen programmierbaren Aberrationskorrektor, der eine verbesserte Tiefenschärfe und Wartung für eine gleichmäßige Bildqualität bietet. Das Gerät enthält auch eine automatische Taktschrägausgleichsmaschine, die die Linienverkürzung optimiert und die Linienkantenrauhigkeit (LER) verbessert. NIKON NSR-1755I7A übernimmt eine Drei-Zonen-Beleuchtungsquelle, die hilft, die Durchsatzleistung für einen verbesserten Durchsatz zu verbessern. Der Scanner unterstützt auch den Einsatz von nicht photoresistischen Maskentechnologien, einschließlich Nanoimprint Lithography (NIL) und X Projection Aligners (XPA). NSR 1755 i7A ist ideal für Anwendungen mit hohem Durchsatz und kostengünstiger Lithographie. Es enthält eine Wafer-Farbmarke zur Vereinfachung der Ausrichtungsmarkenerkennung und kann mit einer Vielzahl fortgeschrittener Halbleiterfilme verwendet werden. Das Gerät verfügt über ein Design, das die Stabilität optimiert und konditionierte Gelenke bereitstellt, die die Bewegung minimieren und Schwingungsquellen am Rand des Schrittes eliminieren. NSR 1755I7A ist ideal für kostenbewusste und anspruchsvolle Wafer-Stepper-Anwendungen. Der Wafer-Stepper wird durch einen umfassenden und zuverlässigen Serviceplan unterstützt, einschließlich NIKON Standard-Garantie auf alle Produkte sowie 24/7-Support, der weltweit verfügbar ist.