Gebraucht NIKON NSR 1755 i7B #293619990 zu verkaufen

NIKON NSR 1755 i7B wafer stepper ist eine hochmoderne Projektions-Photolithographie-Maschine, mit der Geräte mit Funktionsgrößen bis zu einigen Nanometern hergestellt werden. Es ist ein Sechsfeld-Lithographie-Tool mit Direktantrieb, das den vollständigen lithographischen Zyklus von EBR (Exposure Beam Route) bis zur Ausrichtung und Substratebene für jeden bearbeiteten Wafer unterstützt. NIKON NSR-1755I7B verwendet ein fortschrittliches Projektionsobjektiv, ein Reflexionsobjektiv (REX) und einen Zweiring-Homogenisator, die eine überlegene Verzerrungsleistung mit geringer Maske bieten. Dieses Gerät verfügt über eine branchenführende Metrologie-Suite, die eine programmierbare Bühne, eine XYZ-Waferbewegung und eine Fokuserkennung umfasst und eine genaue Resistentwicklung und Strukturierung auf kritischen Schichten ermöglicht. Die NRK 1755 i7B unterstützt auch innovative Bildgebungstechnologien wie Off-Axis-Beleuchtung, durch Ausrichtungsmodelle erzeugte Muster und nahtlose automatische Ausrichtung. Es integriert ein interaktives Belichtungsbefehlssystem, eine Entwickleroptimierung und eine Wafertemperaturregelung, wodurch der gesamte Prozess einfacher zu verwalten ist. Der Stepper ist zuverlässig und unterstützt die hochwertige Geräteherstellung auf dicken Substraten. Das Gerät verwendet ein Feld-programmierbares Gate-Array (FPGA), um einen kurzen Reticle-to-Reticle-Belichtungszyklus zu gewährleisten, und seine elektromagnetische Scanner-Kopf-Technologie ermöglicht eine kostengünstige, automatisch gesteuerte Einrichtung von Belichtungsbedingungen. Seine hochgenaue Schrittmotorsteuerungsmaschine erzeugt eine stabile Belichtungsdosis während des Betriebs. Das Von-Feld-Fehlermanagement-Tool enthält einen Lasermusterscanner, einen Defektmonitor und einen Mittelfeld-Fehlermonitor. Es kann Luftspaltfehler erkennen, die zu Ertragsschwankungen führen können, und seine Bildverarbeitungsmaschine zeigt Bilder an, die vom Defektmonitor auf dem Touchpanel erhalten wurden. NSR 1755 i7B unterstützt auch das ImagePLUS-Sensor-Asset, das Ungleichmäßigkeitsdaten auf den geprüften Wafern sammelt, zusammen mit der DefectReview-Software, die eine Fehlerüberprüfung durchführt. Es unterstützt auch das AutoAlign-Modell, das bei der Projektionsbelichtung schnell Musterinformationen erfasst und eine schnelle Einstellung der Waferregistrierung ermöglicht. Abschließend ist NSR-1755I7B Wafer Stepper eine zuverlässige, hochmoderne Projektions-Photolithographie-Maschine, die Geräte mit Funktionsgrößen bis auf wenige Nanometer präzise herstellen kann. Es unterstützt eine breite Palette von bildgebenden Technologien und ist mit einer branchenführenden Metrologie-Suite, interaktiven Belichtungsgeräten und automatisierten Ausrichtungswerkzeugen ausgestattet.