Gebraucht NIKON NSR 1755 i7B #9165599 zu verkaufen

NIKON NSR 1755 i7B
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 1755 i7B
ID: 9165599
Wafergröße: 6"
Steppers, 6".
NIKON NSR 1755 i7B Wafer Stepper ist ein bahnbrechendes Werkzeug, das die Halbleiterindustrie durch unübertroffene Verfahren für hochpräzise Ausrichtung und Lithographie revolutioniert. Der Stepper verfügt über einen Rasterelektronenstrahlablenker mit einer Ablenkgenauigkeit von 0,6 μ m und einer maximalen Abtastrate von 1,5 kHz, der eine außergewöhnliche Prozessstabilität und Bildqualität bietet. Das 7-Achsen-2-Säulen-System gewährleistet zudem eine Ausrichtungsgenauigkeit innerhalb von 0,7 μ m und gewährleistet eine gleichmäßige Ausrichtung der Wafer mit höchster Präzision. Der Motor Driver In-Deflection Axis Scanning ermöglicht eine hochpräzise Direktantriebssteuerung der Single-Wafer-Stufe für Nanometer-Abtastungen. Sein hoher Wirkungsgrad ermöglicht auch schnelle Zykluszeiten von 1,5 Sekunden pro Wafer. NIKON NSR-1755I7B hat auch eine branchenführende Auflösung von 0,33 μ m und deckt fast das 2,6fache der Reichweite eines typischen konventionellen Wafer-Steppers ab. Diese Auflösung kann auf einfache Weise realisiert werden, um Photomaskenmuster mit den Transistormustern hoher Dichte auf den Wafersubstraten genau auszurichten. Das Instrument ist mit einem automatisierten 4-Achsen-Zentrierprogramm ausgestattet, das jeden Wafer automatisch und präzise relativ zu den X- und Y-Achsen der X-Y-Bühne zentriert. Dieses Zentrierprogramm kann Wafergrößen von maximal 8 Zoll ohne Löcher oder Ausrichtungsmarkierungen verarbeiten und sowohl manuell als auch halbautomatisch zentriert werden. NSR 1755 i7B verfügt über eine offene Schnittstellensoftware, die die Anpassung und Optimierung von Prozessen wie Erfassung von Daten, Verarbeitung von Waferbildern, Ausrichtungsverfahren und Wiederholgenauigkeit ermöglicht. Diese Software bietet auch eine grafisch gesteuerte Betriebsumgebung, die Wafer- und Photomasken-Prozesse vereinfacht. Insgesamt ist NSR-1755I7B ein revolutionärer Wafer-Stepper mit überlegener Genauigkeit in der Waferausrichtung. Es bietet konsistente hochauflösende Bildgebung, die kürzere Zykluszeiten, höhere Erträge und eine leistungsstärkere Produktion ermöglicht.
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