Gebraucht NIKON NSR 2005 G8C #293817947 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 G8C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 G8C
ID: 293817947
Stepper Numerical Aperture (NA): 0.6 Resolution: 550 nm DCO: 120 Throughput (WPH): 66.
NIKON NSR 2005 G8C ist ein fortschrittliches Lithographiewerkzeug, das speziell für die Bearbeitung von Retikeln und Halbleiterscheiben entwickelt wurde. Es verfügt über ein großes Sichtfeld (30mm x 24mm), das die Abbildung von größeren Retikeln als herkömmliche Stepper ermöglicht. Das G8C verfügt zudem über eine hohe numerische Apertur (NA), die eine höhere Präzision bei höheren Auflösungen ermöglicht. Die fortschrittlichen bildgebenden Fähigkeiten des G8C machen es perfekt für die Herstellung der anspruchsvollsten Geometrien und komplizierten 3D-Strukturen. Das G8C umfasst eine ultrapräzise zweiachsige Scanausrüstung zur hochpräzisen Ausrichtung von Retikel und Wafer. Dies ermöglicht eine genaue Ausrichtung jeder einzelnen Schicht, ohne die Bildqualität zu beeinträchtigen. Das G8C verfügt zudem über ein Multifiltersystem, das die Auswahl unterschiedlicher Lichtwellenlängen im bildgebenden Verfahren ermöglicht. Dies sorgt für den besten Kontrast zwischen undurchsichtigen und transparenten Materialien auf den Wafern. NSR 2005 G8C bietet überlegene Kontrastleistung. Es nutzt modernes optisches Design und steigert den Kontrast zu proprietären Technologien wie Digital Focus Expert Unit und Air Gap Illumination. Die verbesserte Genauigkeit von Air Gap Imaging sowie eine ultrahohe numerische Apertur machen eine manuelle Nachbearbeitung der Retikel und Wafer überflüssig. NIKON NSR 2005 G8C ist mit einer Reihe von Vakuumpumpen ausgestattet, die den Betrieb in Hochvakuumumgebungen ermöglichen und eine überlegene Haltbarkeit und Zuverlässigkeit bei minimaler Wartung bieten. Das G8C beinhaltet auch eine automatische Stufe zur Handhabung und Positionierung von Retikel und Wafer, bevor die Bildgebung beginnen kann. Dies trägt dazu bei, die Genauigkeit von Mehrschichtprozessen zu gewährleisten, ohne den Durchsatz zu beeinträchtigen. Die Stufe ist auch in der Lage, Substrat und Ausrichtung Detektion von bis zu 200 verschiedenen Materialien und Schichtdicken fortgeschritten. Insgesamt ist NSR 2005 G8C eine umfassende Lithographie-Maschine und Wafer-Stepper mit einer erweiterten Reihe von Funktionen für die effiziente Herstellung von hochpräzisen und komplizierten Strukturen mit höchster Präzision. Es ist ideal für die Herstellung fortschrittlicher Halbleiterbauelemente und anderer komplizierter Strukturen im hochauflösenden großformatigen Maßstab.
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