Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #293587661 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i10C
ID: 293587661
Weinlese: 1995
Stepper 1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C ist ein revolutionärer Wafer-Stepper, der die Chip-Produktion revolutioniert hat. Dieser Schritt und Wiederholungsgerät Funktionen basierend auf der KLA-Tencor Messtechnik Ausrüstung. Es verwendet den patentierten Tapered Immersion Illuminator (TII), der eine der präzisesten Einstellungen für Strahlform, Größe und Positionskontrolle auf dem Markt ist. Die Kontaktmodus-Scan-Fähigkeit des Steppers und die 4-dimensionale Ausgabe von Probendaten bieten eine hohe Genauigkeit. NIKON NSR 2005I10C hat zwei vertikal gestapelte Linsenschichten, durch die der exponentielle und fallende Strahl des TII auf Wafer und Retikel gerichtet ist. Die Linsen enthalten eine sphärische Oberfläche, die sich dreht, so dass das Licht richtig gebogen werden kann, um ein Bild auf dem Wafer zu erzeugen. Die Linsen können auch ihre Neigung des Lichtstrahls einstellen, was eine präzise Abtastung und Abbildung von Mustern auf den Wafer ermöglicht. Der Stepper verfügt auch über eine hohe Genauigkeit Entmagnifikation und Vergrößerung, mit einer Präzision von 0,1 Mikron für den primären Fokus und 0,05 Mikron für sekundären Fokus. NSR-2005I10C verfügt über ein hocheffizientes Projektionsobjektivsystem, d.h. es kann bis zu 10 Stufen bei einer Belichtungszeit von nur 2,5 Sekunden laufen. Dies bedeutet, dass der Wafer viel schneller dem gescannten Muster ausgesetzt werden kann als bei herkömmlichen Steppern. Es hat auch einen hohen Luftbildbereich, was bedeutet, dass eine Vielzahl von Mustern auf mehreren Detailebenen genau erzeugt werden kann. Darüber hinaus kann der Stepper eine breite Palette von Retikelgrößen handhaben, so dass er für den Einsatz in einer Vielzahl von verschiedenen Anwendungen geeignet ist. NIKON NSR-2005I10C ist dank der zuverlässigen Messtechnik und der elektronischen Steuerung der Laserleistungs- und Belichtungseinstellungen sehr zuverlässig. Es hat auch automatische Strahlform, Größe und Positionskontrolle, die konsistente Ergebnisse bei der Verwendung dieses Schrittes gewährleistet. Der Stepper zeichnet sich durch geringen Wartungsaufwand mit nur gelegentlicher Reinigung und periodischen thermischen Prozessen aus, um eine optimale Leistung zu gewährleisten. Darüber hinaus ist die TII-Maschine extrem energieeffizient und hält die Energiekosten niedrig. Abschließend ist NSR 2005I10C ein revolutionärer Wafer-Stepper, der komplizierte Muster mit hoher Geschwindigkeit präzise auf einen Wafer erzeugen kann. Es ist zuverlässig und wartungsarm und hocheffizient, was es kostengünstig für die Spanproduktion macht.
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