Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #293606710 zu verkaufen

Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i10C
ID: 293606710
Stepper Resolution: 0.45 Reduction: 1/5 NA: 0.57 Exposure wave length: i-Line Expose field: 22 x 22 - 17.9 x 25.2.
NIKON NSR 2005 i10C ist eine hochpräzise, leistungsstarke Wafer-Schrittausrüstung. Es wurde von NIKON entwickelt und zeichnet sich durch eine extrem kurze Belichtungszeit und einen hohen Durchsatz aus. Dieses System wurde speziell entwickelt, um den Durchsatz großer Speicher und Hochgeschwindigkeitsgeräte zu maximieren, die einen außergewöhnlich schnellen Scan erfordern. Es umfasst eine Deep-UV-Excimer-Laserquelle, eine hochpräzise Optik und eine integrierte direkte Bildgebungseinheit. NIKON NSR 2005I10C stärkt seine Hochleistungsbildaufbereitungsfähigkeit und Ultrakurzbelichtungszeit für eine Vielfalt von Oblatentunnelbautechniken. Seine hervorragende Überscangenauigkeit ist ideal für präzise lithographische Prozesse. Mit ihrem variablen Abbildungswinkel ermöglicht die Maschine eine präzisere Steuerung des Ätzmusters. Die Optik von NSR-2005I10C verfügt über einen ultrahohen NA von 0,75, die ultra-hohe Präzision und verringerte lineare Verzerrung bietet. Hochdynamische Modulation sorgt für präzise Overlay-Genauigkeit, Verringerung von Defekten und verbesserte Auflösungen von 16 nm oder besser. Das vereinfachte erweiterte Optikdesign reduziert auch Aberrationen und ermöglicht eine präzise Waferbearbeitung. NIKON NSR-2005 I 10 C ist mit verschiedenen Funktionen ausgestattet, die seine Leistung verbessern. Das Tool verfügt über eine integrierte Selbstüberwachungsfunktion, mit der der Bediener das Asset problemlos beheben kann. Darüber hinaus bieten die Autofokus-Ausrichtungsfunktionen eine drastisch verbesserte Genauigkeit und Wiederholbarkeit in der Fokusposition. Darüber hinaus verfügt NSR 2005 I 10 C über ein mehrstufiges Scan-Modell, das ein schnelles Scannen eines Wafers durch mehrere Sätze von Musterbereichen ermöglicht. Dieses Gerät ist für eine verbesserte Ausnutzung der Optik konzipiert, was zu erhöhter Produktivität und Durchsatz führt. Kurz gesagt, NIKON NSR-2005I10C ist ein fortschrittliches, hochwertiges Wafer-Stepper-System für präzise, zuverlässige und effiziente Waferbearbeitung. Mit seiner Hochleistungsbildaufbereitungsfähigkeit, Ultrakurzbelichtungszeit und Mehrstufenscaneinheit, ist diese Maschine für das große Gedächtnis und die Hochleistungsgerätanwendungen vollkommen. Die fortschrittliche NIKON Optik-Technologie sorgt für präzises Scannen und verbesserte Auflösungen. Mit seinen verschiedenen Funktionen bietet es einen hohen Durchsatz und hervorragende Leistung.
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