Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #9085273 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper ist ein hochpräzises Belichtungswerkzeug, das in der Halbleiter- und Photomaskenherstellung verwendet wird. Es kombiniert herausragende Leistung und Auflösung mit kompromisslosen Standards für Genauigkeit und Zuverlässigkeit. Dies gewährleistet ein Höchstmaß an Bildqualität für die vielfältigen Wafergrößen und Anwendungen, die heute genutzt werden. NIKON NSR 2005I10C verfügt über eine Drehtisch-Bühne, die ein spezielles hochdauerndes kunststoffbeschichtetes Glaslayout verwendet, um eine minimale Stufenpositionsinstabilität zu erreichen. Der Drehtisch nutzt einen integrierten Motorantrieb und ein selbstjustierendes Motorband, das eine Genauigkeit von bis zu +/- 5 µm über dem Wafer ermöglicht. Der Wafer kann in einem Bereich von 400mm × 400mm bewegt werden und die Wiederholfrequenz beträgt 0,3µm. Der Wafer wird mit einer 1kW Halogenlampe, Halogenlichtquelle und einem rechnergesteuerten pulsweitenmodulierten Antrieb beleuchtet. Auf diese Weise können präzise steuerbare Belichtungsparameter verwendet werden, um die gewünschten Ergebnisse zu erzielen. Darüber hinaus sorgt ein fortschrittliches Kühlsystem für eine gleichmäßige Temperatur und optimale Belichtungsgleichmäßigkeit sowie einen höheren Durchsatz. NSR-2005I10C ist mit einem SynchroScan-Bildgebungsgerät ausgestattet, das aus fortgeschrittenen linearen Fotodioden und zwei CCDs besteht. Dieses bildgebende System ermöglicht eine breite Palette von Merkmalen und Funktionen, wie automatische Messungen kritischer Abmessungen, Stufenausrichtung, TTL-Ausrichtung, Musterspitzen und Mehrfeldeindrucken. All dies kann mit hoher Auflösung und hoher Genauigkeit erfolgen, auch bei der Inspektion von Strukturen bis zu 0,4 µm oder kleiner. NIKON NSR-2005 I 10 C Wafer Stepper bietet auch mehrere Automatisierungs- und Überwachungsfunktionen. Dies hilft, Handarbeit zu reduzieren und Fehler zu verhindern. Darüber hinaus ist der Stepper mit einer Ausgangsbox mit zwei Ports und einer Fernbedienung mit einem seriellen I/F- oder Ethernet ausgestattet. Dies bietet zusätzliche Flexibilität in Bezug auf Fernbedienung, Datenerfassung und Steuerung der verschiedenen Funktionen des Steppers. Insgesamt bietet NSR 2005 i10C beispiellose Präzision, Flexibilität und Leistung. Für maximale Bildqualität bietet der Wafer Stepper eine breite Palette von Belichtungsparametern sowie Automatisierungs- und Überwachungsfunktionen, die zur Optimierung des gesamten Halbleiterherstellungsprozesses beitragen. Infolgedessen ist der NSR 2005 I 10 C Wafer Stepper ein unverzichtbares Werkzeug für die Halbleiter- und Photomaskenherstellung.