Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #9232572 zu verkaufen
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ID: 9232572
Wafergröße: 4"
Weinlese: 1995
Stepper, 4"
MCS2 Basic
Option: SMP
Reticle loader
Stage
Operation panel
Wafer loader
Lens controller
Wafer sensor
System: NEST
Hard disk
Storage drive
Illumination type: Normal
Wafer stage:
Chuck type: Flat, 4"
Screw type: Ball
Reticle alignment: VRA, ISS
Reticle microscope: Movable
Wafer alignment: FIA, LSA
Auto focus: Multi
Wafer loader:
Loader type
OF Type: Flat
Flat zone: Flat
In-line: Right
Cassette: Left, Right
Control rack position: Right
Reticle loader: Reticle size, 5"
(13) Slots
No PPD
No barcode system
Chamber type ASAHI
1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C ist ein Waferstepper aus modernster Optik, Sensoren und Präzisionsscanner-Technologie. Es wird hauptsächlich in der Halbleiterindustrie verwendet, um integrierte Schaltungen und andere elektronische Teile genau herzustellen. NIKON NSR 2005I10C kann eine maximale Wafergröße von 200mm (7,87 Zoll) aufnehmen und besteht aus einer Multifunktionsstufe, einer Beleuchtungsoptik und einem hochmodernen Feed Forward und Zonal Scanning Algorithmus (FWA). Der Stepper hat eine Belichtungsfeldgröße von 30mm x 30mm und eine Ausrichtungsgenauigkeit von 0,75 Mikrometer/Gerät. Es verfügt über eine ultrakurze Wellenlänge (UV/DUV) Beleuchtung als jedes vergleichbare Werkzeug, und eine einstellbare Beleuchtungssteuerung und Muster Verformung Fähigkeit. Die Optik von NSR-2005I10C besteht aus einem optimierten optischen System und einer hochpräzisen Multifunktionsstufe. Die Optik umfasst eine hochmoderne doppeltelezentrische kombinierte Beleuchtungs- und Abbildungseinheit, bei der sowohl die Objektivlinse als auch die Abbildungslinse telezentrisch sind. Dies verbessert Auflösung und Kontrast und sorgt für ein breiteres Beleuchtungsfeld. Die Multifunktionsstufe von NIKON NSR 2005 I 10 C bietet überlegene Ebenheit, Oberflächengenauigkeit und Glätte, um eine feine und präzise Ausrichtung zu ermöglichen. Es verwendet auch einen Motor mit überlegenen Drehmomenteigenschaften, um überlegene Genauigkeit und Abtastgeschwindigkeit zu bieten. Der Zonal Scanning Algorithmus (FWA) sorgt für eine hochdynamische Bildgebung zur genauen und stabilen Ausrichtung. NIKON NSR-2005 I 10 C ist mit einer Hochleistungs-Bildverarbeitungsmaschine ausgestattet, die überlegene Auflösung, Kontrast und Durchsatz liefert. Es verwendet eine Vielzahl von Sensoren und Bildverarbeitungsalgorithmen, um eine schnelle und hochgenaue Bildaufnahme zu gewährleisten. Das Werkzeug ist in der Lage, Subpixelmuster zu verarbeiten, wodurch eine hochgenaue Musterplatzierung gewährleistet ist. NSR 2005 I 10 C wurde entwickelt, um überlegene Leistung für anspruchsvolle und diversifizierte Produktionsanforderungen zu bieten. Sein funktionsreiches Asset-Design macht es sehr zuverlässig und ermöglicht eine verbesserte Prozessflexibilität und Skalierbarkeit. Der Stepper ist ideal für die hochentwickelte Produktion integrierter Schaltungen und bietet eine überlegene Wirtschaftlichkeit.
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