Gebraucht NIKON NSR 2005 i10C #9239348 zu verkaufen

NIKON NSR 2005 i10C
Hersteller
NIKON
Modell
NSR 2005 i10C
ID: 9239348
Stepper, 4" Reticle, 6" 1995 vintage.
NIKON NSR 2005 i10C Wafer Stepper ist eine präzise bildgebende Maschine, die zur Herstellung integrierter Schaltungen und anderer Halbleiterbauelemente verwendet wird. Dieses Gerät wurde entwickelt, um die Herstellung von Wafern und Chips mit Präzisionsgenauigkeit zu ermöglichen. Es kann Formmuster, Kontaktlöcher, Vias und andere Schaltungsgeometrien auf jeder Schicht eines Wafers erzeugen. NIKON NSR 2005I10C hat eine Strahlfleckengröße von 5 um und eine numerische Apertur von 0,47. Es ist mit einem 10-Zoll F2.5 optischen Gerät und einem 0.75X Reduktionsobjektiv ausgestattet, was ihm eine hervorragende Bildqualität verleiht. Es hat auch eine DUV (Deep Ultraviolet) Quelle, eine Mx860 Strahl-Position-Controller, und verschiedene andere Komponenten der nächsten Generation, so dass es einer der fortschrittlichsten Wafer Stepper auf dem Markt. Der Stepper ist in der Lage, Auflösungen von bis zu 0,08 Mikrometer zu erreichen und gleichzeitig eine überlegene Overlay-Kontrolle zu behalten. Es ist auch in der Lage, eine breite Palette von Leistungsstufen zu handhaben, bis zu 10 Watt, und kann Belichtungszeiten von bis zu 45 Sekunden. Darüber hinaus ist die Maschine so konzipiert, dass sie mit einer Reihe von Substraten wie Silizium, Quarz und Glas arbeitet. Um sicherzustellen, dass der Wafer ordnungsgemäß bearbeitet und geätzt wird, verfügt NSR-2005I10C auch über eine Vielzahl von Sensoren und Ausrichtungssystemen, um den Wafer genau auszurichten. Es enthält ein 3D-Ausrichtungssystem, eine Musterzentriereinheit, eine Mikrobündelausrichtmaschine und ein Werkzeug zur Werkzeugauswahl. Weiterhin wird mit einem Luftlagertisch sichergestellt, dass der Wafer während des Abbildungsprozesses empfindlich gehandhabt wird. NIKON NSR-2005I10C ist so konzipiert, dass es effizient und präzise arbeitet und hochwertige Bilder mit minimalen Fehlern erzeugt. Es ist in der Lage, mit einer breiten Palette von Substraten zu arbeiten, so dass mehr Vielseitigkeit, wenn es um die Schaffung von integrierten Schaltungen kommt. Darüber hinaus kommen seine Präzisionsbildfunktionen zusammen, um mit minimalem Aufwand überlegene Ergebnisse zu erzielen.
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